[發明專利]離子管有效
| 申請號： | 200910262401.3 | 申請日： | 2009-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN101764020A | 公開（公告）日： | 2010-06-30 |
| 發明（設計）人： | 長田佑介;鹽野忠久 | 申請（專利權）人： | 株式會社昭和真空 |
| 主分類號： | H01J27/02 | 分類號： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 謝麗娜;關兆輝 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子 | ||
【權利要求書】：
1.一種離子管，具有由陰極（10）和陽極（20）構成的等離子體 生成構件，以及從由該等離子體生成構件生成的等離子體中引出離子 束的柵極（30），其特征在于，
該陰極由架設于一對絲電極之間的絲極（12）構成，該柵極具有 平行地排列在該絲極上的多個離子束引出孔（31），該多個離子束引 出孔沿與該絲極相同的方向排列在由陽極劃定的區域內部，該陽極與 該絲極平行地對置配置，
包含該絲極的兩端部（12a）的單位空間內的發熱量比包含該絲極 的中央部（12b）的單位空間內的發熱量大。
2.根據權利要求1所述的離子管，其特征在于，
所述絲極的兩端部卷繞成線圈狀。
3.根據權利要求1所述的離子管，其特征在于，
所述絲極的兩端部被彎曲。
4.一種離子管，具有由陰極（10）和陽極（20）構成的等離子體 生成構件，以及從由該等離子體生成構件生成的等離子體中引出離子 束的柵極（30），其特征在于，
該陰極由架設于一對絲電極之間的絲極（12）構成，該柵極具有 平行地排列在該絲極上的多個離子束引出孔（31），該多個離子束引 出孔沿與該絲極相同的方向排列在由陽極劃定的區域內部，該陽極與 該絲極平行地對置配置，
相對于該絲極的中央部，兩端側緊密地卷繞。
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