[發明專利]一種無水氟化氫氣體中粉塵顆粒的脫除方法無效
| 申請號: | 200910242208.3 | 申請日: | 2009-12-04 |
| 公開(公告)號: | CN101723329A | 公開(公告)日: | 2010-06-09 |
| 發明(設計)人: | 孫繼紅;何瑋;王麗娟 | 申請(專利權)人: | 北京工業大學 |
| 主分類號: | C01B7/19 | 分類號: | C01B7/19 |
| 代理公司: | 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203 | 代理人: | 劉萍 |
| 地址: | 100124 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 無水 氟化氫 氣體 粉塵 顆粒 脫除 方法 | ||
【權利要求書】:
1.一種無水氟化氫氣體中粉塵顆粒的脫除方法,其特征在于:首先無機氟化物與酸反應得到無水氟化氫氣體,隨即通過有機-無機雜化膜;該有機-無機雜化膜,孔徑小于1μm和耐溫性在20℃-120℃,同時具有耐氫氟酸腐蝕,負壓:1000-3000Pa條件,比表面積大于180m2/g;脫除無水氟化氫氣體中亞微米或納米級以下的粉塵顆粒,使得無水氟化氫氣體中在常溫常壓下粉塵顆粒含量小于5g/m3。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于:有機-無機雜化膜選自聚四氟乙烯,聚偏氟乙烯,聚砜,聚碳酸酯,聚醚砜或塑燒板。
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