[發(fā)明專利]石英坩堝制造用模具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910207795.2 | 申請日： | 2009-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN101723574A | 公開（公告）日： | 2010-06-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吉岡拓磨;森川正樹 | 申請（專利權(quán)）人： | 日本超精石英株式會社 |
| 主分類號： | C03B20/00 | 分類號： | C03B20/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本秋田縣秋*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 石英 坩堝 制造 模具 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種石英坩堝制造用模具，其為用于通過在石英粉附著到旋轉(zhuǎn)模具的 內(nèi)壁上的狀態(tài)下將所述石英粉熱熔化來制造石英坩堝的模具，其特征在于， 具有比所述模具的內(nèi)直徑小且比所述石英坩堝的內(nèi)直徑大的內(nèi)直徑的環(huán)形絕 熱障壁材料設(shè)置于所述模具的對應(yīng)于所述石英坩堝的上部區(qū)的上部開口部分 的內(nèi)周壁上，所述環(huán)形障壁材料的內(nèi)表面的從所述模具的所述內(nèi)周壁突出的 厚度t1由以下等式表示：
t1=（模具內(nèi)直徑-障壁材料內(nèi)直徑）/2，
t1是石英粉的附著厚度t2的20%到80%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩堝制造用模具，其特征在于所述障壁材 料是石英、碳、碳化硅或氮化硅。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英坩堝制造用模具，其特征在于所述障 壁材料的所述內(nèi)表面具有6.3到25μm的表面粗糙度作為算術(shù)平均粗糙度Ra。
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