[發明專利]一種垂向升降片庫的定位裝置和控制方法

有效

• 申請號: 200910200091.2
• 申請日: 2009-12-08
• 公開（公告）號: CN102087987A
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發明（設計）人: 張鵬遠;王磊
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/677
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

1.一種垂向升降片庫的定位裝置，其特征在于，所述垂向升降片庫的定位裝置包括：

顏色傳感器和光源，與所述片庫相對位置不變；

色帶，沿垂向放置且固定不動，與所述片庫相對位置隨所述片庫升降而變化；

所述光源隨所述片庫沿垂向升降并照射所述色帶，并且反射光被所述顏色傳感器接收。

2.根據權利要求1所述的垂向升降片庫的定位裝置，其特征在于，所述反射光包含顏色信號，所述顏色傳感器分辨所述顏色信號以確定所述片庫的垂向位置。

3.根據權利要求1所述的垂向升降片庫的定位裝置，其特征在于，所述片庫至少有一個，每一片庫配備一顏色傳感器、一光源和一色帶。

4.根據權利要求1或2或3所述的垂向升降片庫的定位裝置，其特征在于，所述顏色傳感器與光源設置于同一密閉、無反射的箱子中。

5.根據權利要求1或2或3所述的垂向升降片庫的定位裝置，其特征在于，所述光源為白光光源。

6.根據權利要求1或2或3所述的垂向升降片庫的定位裝置，其特征在于，所述片庫包含一外殼，所述顏色傳感器和光源固定在所述外殼上。

7.根據權利要求3所述的垂向升降片庫的定位裝置，其特征在于，每一所述色帶由顏色各不相同的色段連接而成，每一色段在所述色帶內垂向的寬度相同。

8.根據權利要求7所述的垂向升降片庫的定位裝置，其特征在于，所述色段在所述色帶內垂向的寬度為10～20厘米。

9.根據權利要求3所述的垂向升降片庫的定位裝置，其特征在于，每一所述色帶由兩種顏色的色段交替連接組成，每一色段在所述色帶內垂向的寬度相同。

10.根據權利要求9所述的垂向升降片庫的定位裝置，其特征在于，所述色段在所述色帶內垂向的寬度為1～2微米。

11.根據權利要求3所述的垂向升降片庫的定位裝置，其特征在于，每一所述色帶由顏色各不相同的色段按三原色(RGB)值的排列組合連接而成，每一色段在所述色帶內垂向的寬度相同。

12.一種垂向升降片庫的控制方法，包括：

提供沿垂向放置且固定不動的色帶，所述色帶由至少2種顏色的色段連接而成，每一所述色段在所述色帶內垂向的寬度相同；

提供顏色傳感器和光源，與所述片庫相對位置不變，所述光源照射所述色帶并產生包含顏色信號的反射光，所述顏色傳感器接收所述反射光并分辨所述顏色信號以確定所述片庫垂向位置。

13.根據權利要求12所述的垂向升降片庫的控制方法，其特征在于，所述片庫至少有一個，每一片庫配備一顏色傳感器、一光源和一色帶。

14.根據權利要求13所述的垂向升降片庫的控制方法，其特征在于，每一所述色帶由顏色各不相同的色段連接而成。

15.根據權利要求13所述的垂向升降片庫的控制方法，其特征在于，每一所述色帶由兩種顏色的色段交替連接組成。

16.根據權利要求15所述的垂向升降片庫的控制方法，其特征在于，不同的片庫配備的色帶含有一種相同的顏色，并且除所述相同的顏色外，所述不同的片庫配備的色帶的另外一種顏色各不相同，用以區分不同的片庫。

17.根據權利要求16所述的垂向升降片庫的控制方法，其特征在于，所述不同的片庫配備的色帶含有一種相同的顏色為白色或黑色。

18.根據權利要求14或15所述的垂向升降片庫的控制方法，其特征在于，所述顏色信號為相鄰色段交界線處的顏色跳變。

19.根據權利要求18所述的垂向升降片庫的控制方法，其特征在于，所述片庫中含有片槽，所述相鄰色段交界線與所述片槽一一對應，用以區分不同的片槽。

20.根據權利要求13所述的垂向升降片庫的控制方法，其特征在于，每一所述色帶由顏色各不相同的色段按三原色(RGB)值的排列組合連接而成。

21.根據權利要求20所述的垂向升降片庫的控制方法，其特征在于，所述三原色(RGB)值的排列組合方式為：用三原色(RGB)中的一種原色的一個數值代表一個片庫，另外兩種原色的數值排列組合標示片庫在垂向的位置。