[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體制造的標準機械界面及其激光裝配支架

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910197247.6
• 申請日: 2009-10-15
• 公開（公告）號: CN102044460A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 顧琛;許國青
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 鄭立柱

1.一種用于半導(dǎo)體制造的標準機械界面的激光裝配支架，包括支架本體，其特征在于，所述激光裝配支架還包括位于所述支架本體上的多對激光發(fā)生器與反射鏡的組合，所述反射鏡分別將相應(yīng)的激光發(fā)生器發(fā)出的激光以一定的角度反射至標準機械界面上相應(yīng)的傳感器處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝配支架，其特征在于，所述激光發(fā)生器與反射鏡的組合數(shù)目為三對。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光裝配支架，其特征在于，所述反射鏡相對于相應(yīng)的激光發(fā)生器發(fā)出的激光其入射角度是可調(diào)的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光裝配支架，其特征在于，所述反射鏡為全反射鏡。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光裝配支架，其特征在于，所述激光發(fā)生器為激光二極管。

6.一種用于半導(dǎo)體制造的標準機械界面，其特征在于，包括根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的激光裝配支架。