[發(fā)明專利]一種卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910181458.0
• 申請(qǐng)日: 2009-07-16
• 公開（公告）號(hào): CN101629283A
• 公開（公告）日: 2010-01-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郝三存;邵雙喜;李丹;段和勛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇雙登集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/54
• 分類號(hào): C23C16/54;C23C16/50
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 徐冬濤;瞿網(wǎng)蘭

1.一種卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征是它包括：

一卷出輥(2)，該卷出輥(2)上卷繞有等解卷的帶狀柔性基體材料，所述的卷出輥(2)安裝在真空室(1)中；

一卷繞輥(11)，該卷繞輥(11)將前述卷出輥(2)解開的柔性基體材料按照卷對(duì)卷方式進(jìn)行重新卷繞成卷，所述的卷繞輥(11)安裝在真空腔(22)中；

一加熱腔(15)，該加熱腔(15)的一端與真空室(1)相連，另一端與沉積腔(10)相連，沉積腔(10)的一端與真空腔(22)相連，加熱腔(15)中安裝有加熱裝置(5)，沉積腔(10)中安裝有等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置(14)；

一垂直傳送導(dǎo)軌(3)，它位于真空室(1)中，卷出輥(2)上的柔性基體材料垂直拉出后進(jìn)入與之相連的水平傳送導(dǎo)軌(20)，水平傳送導(dǎo)軌(20)貫穿真空室(1)和真空腔(22)之間的加熱腔(15)和沉積腔(10)；

一與水平傳送導(dǎo)軌(20)相連的設(shè)置在真空腔(22)中的用于將經(jīng)過沉積后的柔性基體材料送入卷繞輥(11)中的導(dǎo)軌(16)；

一分別安裝在真空室(1)、真空腔(22)和加熱室(15)中的用于使柔性基體材料在傳送過程中保持張力的第一張緊輪組(4)、第二張緊輪組(6)及和三張緊輪組(13)；

一安裝在真空腔(22)中用于使進(jìn)入卷繞輥(11)上的經(jīng)過沉積后的柔性基體材料快速冷卻的冷卻輥(12)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征是所述的冷卻輥(12)為水冷冷卻輥。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征是它還包括一個(gè)用于將卷出輥(2)上的柔性基體材料拉出引入卷繞輥(11)的基材導(dǎo)引裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征是所述的基材導(dǎo)引裝置主要由活動(dòng)導(dǎo)引頭(201)、動(dòng)力驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)輪(203)和基材夾持裝置(204)組成，活動(dòng)導(dǎo)引頭(201)與動(dòng)力驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)輪(203)相連，動(dòng)力驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)輪(203)安裝在運(yùn)行軌道(202)上，基體夾持裝置(204)與帶動(dòng)其運(yùn)動(dòng)的活動(dòng)導(dǎo)引頭(201)相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征是所述的導(dǎo)軌(16)斜置于真空腔(22)中并位于張緊輪組(13)和冷卻輥(12)之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征是所述的等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置(14)包括用于對(duì)基體在沉積膜時(shí)進(jìn)行均勻加熱的加熱電極(141)、中空的功率源陰極電極外殼(142)以及等離子體發(fā)生電極(145)，所述的加熱電極(141)同時(shí)也是接地陽極電極，該加熱電極(141)中安裝有帶狀加熱元件(148)，中空的功率源陰極電極外殼(142)同時(shí)也是尾氣排放通道，在其上連接有尾氣板(144)和尾氣泵(143)，以獲得均勻的氣體流場(chǎng)，等離子體發(fā)生電極(145)包括間隔排列的陽極和陰極，等離子體發(fā)生電極(145)為中空結(jié)構(gòu)，在其面向柔性基體材料的一面上開有小孔，中空結(jié)構(gòu)內(nèi)部(149)為氣流通道，上表面氣孔(146)為氣體流出通道，其中陰極電極與功率源相連，陽極與接地線相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征是所述的等離子體發(fā)生電極(145)由外框架(101)、陽極接地電極(103)、功率源饋入電極(102)和絕緣裝置(104)構(gòu)成，陽極接地電極(103)的數(shù)量比陰極功率源饋入電極(102)的數(shù)量多1個(gè)，并且各電極之間距離相等。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征是所述的加熱裝置(5)為平板狀加熱裝置，它主要由外框架(301)，加熱元件夾具(302)、加熱元件(303)、第一電源接入電極(304)和第二電源接入電極(305)組成，加熱元件(303)與加熱元件夾具(302)之間通過耐高溫電絕緣器件絕緣，加熱元件(303)呈平行排列形成加熱平面。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置，其特征是真空室(1)和真空腔(22)均為由結(jié)構(gòu)件及保溫板組成的雙層箱體，在其內(nèi)壁設(shè)有帶狀加熱板，可以對(duì)傳輸中的柔性基體材料加熱，在真空室(1)或真空腔(22)的壁上設(shè)有真空泵接口，用于連接真空泵使腔室始終保持于工作時(shí)的低壓狀態(tài)。