[發(fā)明專利]真空機械引入裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910176675.0
• 申請日: 2009-09-24
• 公開（公告）號: CN102031492A
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張凱程
• 申請（專利權(quán)）人: 迎輝科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;王璐

1.一種真空機械引入裝置，安裝于一個真空腔體的一個腔壁上，所述真空腔體界定出一個腔體空間，而該真空機械引入裝置包括一個固定地與該腔壁組裝的分隔座，該分隔座包括一個與該腔壁間隔的分隔端壁以及一個自該分隔端壁的周緣朝該腔壁延伸連接的分隔圍壁，該分隔圍壁與該分隔端壁共同界定出一個安裝空間，其特征在于，該真空機械引入裝置還包括：

一個入力機構(gòu)，包括一個能夠相對轉(zhuǎn)動地設(shè)置于該分隔座的外部的入力軸座以及多個設(shè)置于該入力軸座上的第一磁性單元，所述入力軸座包括一個罩覆于該分隔座的外周并供所述第一磁性單元安裝的入力本體及一個自該入力本體的一側(cè)朝遠離該腔壁的方向延伸的入力軸；及

一個出力機構(gòu)，包括一個出力軸座以及多個設(shè)置于該出力軸座上的第二磁性單元，所述出力軸座包括一個設(shè)置于該分隔座的安裝空間的出力本體以及一個自該出力本體延伸出并穿過該腔壁而伸入該腔體空間的出力軸，所述第二磁性單元安裝在該出力本體上，并且分別與所述第一磁性單元內(nèi)外對應(yīng)；前述出力軸座能夠在該入力軸座轉(zhuǎn)動時，受到所述第一磁性單元及所述第二磁性單元之間的磁力作用而隨著該入力軸座轉(zhuǎn)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空機械引入裝置，其特征在于，該入力本體具有一個相鄰于該分隔端壁的本體端壁以及一個自該本體端壁的周緣朝該腔壁方向延伸并間隔地位于該分隔圍壁的外圍的本體圍壁，所述第一磁性單元彼此間隔地設(shè)置于該本體圍壁上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空機械引入裝置，其特征在于，該本體圍壁具有多個彼此間隔的第一嵌卡段以及多個分別位于兩兩相鄰的第一嵌卡段之間的第一安裝槽，所述第一嵌卡段都具有二個分別朝相鄰的第一安裝槽突出的第一突卡部，所述第一磁性單元分別安裝于所述第一安裝槽，每一個第一磁性單元都包括多個相鄰的第一磁性件，所述第一磁性件都具有二個間隔并與同側(cè)的第一突卡部配合卡插的第一凹溝。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空機械引入裝置，其特征在于，該入力機構(gòu)還包括一個組裝在該本體圍壁的一側(cè)的固定環(huán)座以及多個分別對應(yīng)所述第一安裝槽并與該本體端壁結(jié)合的固定板，所述固定板及該固定環(huán)座分別位于所述第一磁性單元的兩相反側(cè)并定位所述第一磁性單元。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空機械引入裝置，其特征在于，該出力本體包括多個彼此間隔的第二嵌卡段以及多個位于兩兩相鄰的第二嵌卡段之間的第二安裝槽，所述第二嵌卡段都具有二個分別朝相鄰的第二安裝槽突出的第二突卡部，所述第二磁性單元分別安裝于所述第二安裝槽，每一個第二磁性單元都包括多個相鄰的第二磁性件，所述第二磁性件都包括二個間隔并與同側(cè)的第二突卡部配合卡插的第二凹溝。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空機械引入裝置，其特征在于，所述第一磁性單元及第二磁性單元都具有內(nèi)外設(shè)置的一個第一磁極以及一個第二磁極，該第一磁性單元的第一磁極鄰近該第二磁性單元的第二磁極。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空機械引入裝置，其特征在于，該入力機構(gòu)還包括多個設(shè)置于該入力本體上，并且分別位于兩兩相鄰的第一磁性單元之間的輔助磁性單元，所述輔助磁性單元都具有內(nèi)外設(shè)置的一個第一磁極以及一個第二磁極，該輔助磁性單元的第二磁極鄰近該第二磁性單元的第二磁極。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空機械引入裝置，其特征在于，所述第一磁性單元都具有多個相鄰的第一磁性件，所述第一磁性件都具有內(nèi)外設(shè)置的一個第一磁極及一個第二磁極，每一個第一磁性單元的兩兩相鄰的第一磁性件的磁極配置相反，所述第二磁性單元都具有多個相鄰并分別與所述第一磁性件內(nèi)外對應(yīng)的第二磁性件，所述第二磁性件都具有內(nèi)外設(shè)置的一個第一磁極以及一個第二磁極，而且內(nèi)外對應(yīng)的第二磁性件與第一磁性件的相向側(cè)的磁極相反。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空機械引入裝置，其特征在于，該入力機構(gòu)還包括一個外殼座，該外殼座包括一個與該本體端壁固定結(jié)合的殼端壁以及一個自該殼端壁朝該腔壁延伸并罩覆于該本體圍壁的外部的殼圍壁，該入力軸穿過該殼端壁而外露于該外殼座的外部。