[發明專利]氣體供給裝置及塊狀凸緣

無效

• 申請號: 200910174923.8
• 申請日: 2009-11-03
• 公開（公告）號: CN101725752A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發明（設計）人: 井上貴史;西村康典
• 申請（專利權）人: 喜開理株式會社
• 主分類號: F16K27/00
• 分類號: F16K27/00
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

技術領域

本發明涉及一種氣體供給裝置，其具有第一線路及第二線路，該 第一線路與第一質量流控制器連接，該第二線路與第二質量流控制器 連接，該第一線路具有第一開閉閥及第二開閉閥，該第二線路具有第 三開閉閥及第四開閉閥，該氣體供給裝置與供給四種氣體A、B、C、 D的供給口連接。

背景技術

目前，作為這種技術，公示有下述的專利文獻1及專利文獻2中 記載的氣體供給裝置，其發明的目的為，減少高價且比較大的裝置即 質量流控制器的使用數，減小地面占有面積。

如圖32所示，專利文獻1記載的氣體供給裝置300具有控制混合 前的氣體流量的質量流控制器301MA。另外，在質量流控制器301MA 中連接有三個開閉閥302VA、303VA、304VA。在圖32中，為了易于 和本發明對比，設定有三個開閉閥。將與質量流控制器301MA連接的 線路設定為第一線路。

由于具有該結構，能夠減少高價且比較大的裝置即質量流控制器 的使用數。

但是，在專利文獻1的發明中，例如，在供給工藝氣體時，在有 頻繁使用的工藝氣體G1的情況下，設定為通過一個質量流控制器 301MA而只能供給工藝氣體G1時，不能在第一線路中同時供給通過 同一質量流控制器301MA的另外的工藝氣體G2、G3。于是，在供給 其他的工藝氣體G2、G3時，必須停止工藝氣體G1的供給。因此，存 在不能與復雜的工藝相對應，或需要用于對應的新的質量流控制器的 問題。

于是，作為解決專利文獻1的發明的課題，有專利文獻2的發明。

如圖33所示，專利文獻2所述的氣體供給裝置200具有三個質量 流控制器201MA、201MB、201MC。在質量流控制器201MA上連通 有開閉閥212A～212H八個開閉閥。另外，其他的質量流控制器201MB、 201MC也分別連通有八個開閉閥。將與質量流控制器201MA連通的線 路設定為第一線路，將與質量流控制器201MB連通的線路設定為第二 線路，將與質量流控制器201MC連通的線路設定為第三線路。例如， 在供給工藝氣體G1時，只要將開閉閥212A、213A或214A中任一個 打開，就可以從第一線路至第三線路的任何線路供給工藝氣體G1。因 此，在用第一線路供給頻繁供給的工藝氣體例如工藝氣體G1時，也能 夠用另外的第二、第三線路供給另外的工藝氣體G2、G3。因此，即使 不停止工藝氣體G1的供給，也能夠供給其他的工藝氣體G2、G3。

專利文獻1：日本特許3904368號

專利文獻2：日本特開2003-91322號公報

但是，在現有的氣體供給裝置200中存在以下問題。

例如，在氣體供給裝置200中，開閉閥需要24個。因此，開閉閥 增多，所以存在制造成本增高及地面占有面積變大的問題。

另外，如上所述，在專利文獻1的氣體供給裝置300中，開閉閥 的個數少，但是，例如供給氣體時，在有頻繁地使用的工藝氣體G1的 情況下，設定為通過一個質量流控制器301MA只能供給工藝氣體G1 時，在第一線路中不能同時供給通過同一質量流控制器301MA的另外 的工藝氣體G2、G3。于是，在供給其他的工藝氣體G2、G3時，必須 停止工藝氣體G1供給。因此，存在不能與復雜的工藝相對應，或者需 要用于對應的新的質量流控制器的問題。

另外，在專利文獻1的氣體供給裝置300中，在各工藝的每一個 工藝所使用的工藝氣體的供給源和用于供給該工藝氣體的全部的管與 各開閉閥直接連接，因此，存在管混雜，不能減小地面占有面積的問 題。

發明內容

因此，本發明是為解決上述問題而開發的，其目的在于，提供一 種氣體供給裝置，可以不停止頻繁使用的工藝氣體的供給而能夠使用 其他的工藝氣體，并能夠減小地面占有面積。

為實現上述目的，本發明的第一方面提供一種氣體供給裝置及塊 狀凸緣，其具有如下的結構。

(1)一種氣體供給裝置，具有第一線路及第二線路，第一線路與 第一質量流控制器連接，第二線路與第二質量流控制器連接，第一線 路具有第一開閉閥及第二開閉閥，第二線路具有第三開閉閥及第四開 閉閥，該氣體供給裝置與供給四種氣體A、B、C、D的供給口連接， 其特征為，氣體A和氣體B是同一氣體，第一開閉閥及第三開閉閥與 供給氣體A的供給口連接，第二開閉閥與供給氣體C的供給口連接， 第四開閉閥與供給氣體D的供給口連接。