[發明專利]主動元件陣列母基板及其制作方法

有效

• 申請號: 200910173885.4
• 申請日: 2009-09-18
• 公開（公告）號: CN101697052A
• 公開（公告）日: 2010-04-21
• 發明（設計）人: 曹佩婷;吳威憲;陳靜茹;林圣智;沈承勛
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1368;H01L21/82;H01L23/544;H01L23/60
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;祁建國

1.一種主動元件陣列母基板，其特征在于，其包括：

一基板，具有多個預定區域以及一外圍區域；

多個主動元件陣列，分別配置于所述預定區域內；

一連接線路，配置于該基板上；以及

一測試墊結構，配置于該外圍區域并且經該連接線路電連接到所述主動元件陣列，該測試墊結構包括：

多個相互分離的第一金屬圖案，且所述第一金屬圖案中的一個第一主金屬圖案與該連接線路相連；

一第一介電層，覆蓋所述第一金屬圖案，且該第一介電層具有多個第一接觸窗，分別暴露出每一第一金屬圖案的一部分；

至少一第二金屬圖案，配置于該第一介電層上，并且暴露出所述第一接觸窗；

一第二介電層，全面覆蓋該基板，并配置于該至少一第二金屬圖案上，該第二介電層具有多個第二接觸窗，所述第二接觸窗分別暴露出該至少一第二金屬圖案的一部分以及所述第一接觸窗；以及

一橋接圖案，配置于該第二介電層上，并且經所述第二接觸窗以及所述第一接觸窗向下連接到該至少一第二金屬圖案以及所述第一金屬圖案。

2.根據權利要求1所述的主動元件陣列母基板，其特征在于，該至少一第二金屬圖案的數量為多個并互相分離，而部分的所述第二接觸窗分別暴露出每一第二金屬圖案的一部分。

3.根據權利要求1所述的主動元件陣列母基板，其特征在于，該至少一第二金屬圖案具有一鋸齒狀的邊緣。

4.根據權利要求1所述的主動元件陣列母基板，其特征在于，所述第一金屬圖案與所述主動元件陣列中的多個柵極屬于同一膜層。

5.根據權利要求1所述的主動元件陣列母基板，其特征在于，該第二金屬圖案與所述主動元件陣列中的多個源極與漏極屬于同一膜層。

6.根據權利要求1所述的主動元件陣列母基板，其特征在于，該橋接圖案與所述主動元件陣列中的多個像素電極屬于同一膜層。?

7.一種主動元件陣列母基板的制作方法，其特征在于，其包括：

提供一基板，該基板上具有多個預定區域以及一外圍區域；

形成一第一金屬層于該基板上，該第一金屬層包括位于每一預定區域內的一柵極、位于該外圍區域內的一連接線路以及位于該外圍區域內的多個相互分離的第一金屬圖案；

形成一第一介電層以覆蓋該第一金屬層，且該第一介電層具有多個第一接觸窗，分別暴露出每一第一金屬圖案的一部分；

形成一半導體層于該第一介電層上，該半導體層包括位于每一柵極上方的一半導體圖案；

形成一第二金屬層于該半導體層上，該第二金屬層包括位于每一預定區域內且坐落于該半導體圖案兩側的一源極與一漏極以及位于該外圍區域內的所述第一金屬圖案上方的至少一第二金屬圖案，其中該至少一第二金屬圖案暴露出所述第一接觸窗；

形成一第二介電層以全面覆蓋該基板，該第二介電層具有多個第二接觸窗以及多個第三接觸窗，所述第二接觸窗分別暴露出該至少一第二金屬圖案的一部分以及所述第一接觸窗，而所述第三接觸窗暴露出所述漏極的一部分；以及

形成一透明導電層于該第二介電層，該透明導電層包括一橋接圖案以及多個像素電極，該橋接圖案經所述第二接觸窗以及所述第一接觸窗向下連接到該至少一第二金屬圖案以及所述第一金屬圖案，而所述像素電極經所述第三接觸窗向下連接到所對應的漏極。

8.根據權利要求7所述的主動元件陣列母基板的制作方法，其特征在于，該第二金屬層包括多個相互分離的第二金屬圖案，而部分的所述第二接觸窗分別暴露出每一第二金屬圖案的一部分。

9.根據權利要求7所述的主動元件陣列母基板的制作方法，其特征在于，該至少一第二金屬圖案具有一鋸齒狀的邊緣。?