[發明專利]承載板的襯孔凸緣的更換方法

無效

• 申請號: 200910171610.7
• 申請日: 2009-08-28
• 公開（公告）號: CN102000940A
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發明（設計）人: 范綱維;呂家榛;賴立書;林世明
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: B23P6/00
• 分類號: B23P6/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種承載板的襯孔凸緣的更換方法，包括以下步驟：

提供一承載板，其中該承載板適用于一基板處理裝置且適于承載一基板，該承載板具有一第一表面、一第二表面、一襯孔與一推銷孔，該第一表面與該第二表面相對配置，該第一表面適于承載該基板，該襯孔由該第二表面延伸至該承載板內，該推銷孔由該第一表面延伸至該承載板內且連通該襯孔，該襯孔具有一暴露于外的第一凸緣，并且該襯孔適于容納一軸襯；

移除該襯孔的一部分以形成一容納孔，其中該容納孔的深度小于該襯孔的深度，且該襯孔的被移除的該部分包括該第一凸緣；

提供一置換件，其中該置換件具有一第三表面、一第四表面及一貫穿孔，該第三表面與該第四表面相對配置，該貫穿孔由該第三表面貫通至該第四表面，該貫穿孔具有一暴露于外的第二凸緣，該貫穿孔的尺寸與該襯孔的被移除的該部分的尺寸相同；

將該置換件配置于該容納孔內，使得該第四表面位于該承載板內，該第三表面與該第二凸緣暴露于外，且該貫穿孔的位置對應于且連通該襯孔的未被移除的另一部分的位置；

將該置換件焊接于該承載板上，其中該貫穿孔與該襯孔的未被移除的該部分共同適于容納該軸襯，且該第二凸緣適于卡合于該軸襯。

2.根據權利要求1所述的承載板的襯孔凸緣的更換方法，其特征在于，該置換件是藉由氬焊的方式焊接于該承載板上。

3.根據權利要求1所述的承載板的襯孔凸緣的更換方法，其特征在于，該軸襯的外緣具有多個凹槽，該第二凸緣的內緣具有多個與該些凹槽對應的凸起，各該凸起適于卡合于該些凹槽之一內。