[發明專利]玻璃基板蝕刻裝置

無效

• 申請號: 200910169326.6
• 申請日: 2009-08-25
• 公開（公告）號: CN101630635A
• 公開（公告）日: 2010-01-20
• 發明（設計）人: 孔正鎬;南重根
• 申請（專利權）人: 滿納韓宏電子科技（南京）有限公司;煙臺韓宏電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/311;C03C15/00
• 代理公司: 北京雙收知識產權代理有限公司
• 代理人: 郭鴻雁

1.一種玻璃基板蝕刻裝置，包括反應室、位于反應室內用于將玻璃基板垂直固定住的 固定裝置、與反應室相通的藥液存儲罐和與藥液存儲罐相通的藥液循環系統，藥液循環系統 包括若干個噴嘴，其特征在于：所述噴嘴在每塊玻璃基板的上方均布成一排，所述藥液循環 系統還包括進口與藥液存儲罐相通的總輸入管路、過濾系統和總輸出管路，過濾系統包括第 一輸入管路和第二輸入管路，總輸入管路的出口分別與第一輸入管路的進口、第二輸入管路 的進口相連，第一輸入管路上依次串聯有閥門VA、第一過濾裝置組、閥門VC，第二輸入管 路上依次串聯有閥門VB、第二過濾裝置組、閥門VD，第一輸入管路的出口、第二輸入管路 的出口與總輸出管路的進口相連，位于每塊玻璃基板相應位置處的上方設有一根與總輸出管 路相連的分支輸出管路，所述噴嘴安裝在分支輸出管路上。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板蝕刻裝置，其特征在于：所述過濾系統還包括過濾 裝置再生回路，所述過濾裝置再生回路包括反洗輸入管路和反洗輸出管路，所述反洗輸入管 路通過串聯有閥門VE的管路與閥門VC和第一過濾裝置組之間的第一輸入管路相連，反洗輸 入管路通過串聯有閥門VF的管路與閥門VD和第二過濾裝置組之間的第二輸入管路相連，第 一過濾裝置組與閥門VA之間的第一輸入管路通過串聯有閥門VG的管路與反洗輸出管路相 連，第二過濾裝置組與閥門VB之間的第二輸入管路通過串聯有閥門VH的管路與反洗輸出管 路相連。

3.根據權利要求1或2所述的玻璃基板蝕刻裝置，其特征在于：所述第一過濾裝置組 和第二過濾裝置組中的過濾裝置并聯設置。

4.根據權利要求1或2所述的玻璃基板蝕刻裝置，其特征在于：所述第一過濾裝置組 和第二過濾裝置組中的過濾裝置的數量分別為1～5個。

5.根據權利要求4所述的玻璃基板蝕刻裝置，其特征在于：所述固定裝置包括支架， 支架由相對設置的橫梁、縱梁和豎桿組裝而成，豎桿的中下部還固定有中橫梁，底部的橫梁 之間均勻固定有若干個與縱梁相平行的支撐梁，每個支撐梁上均勻固定有若干個支撐座，支 撐座的頂部開有用于放置玻璃基板的凹槽；頂部的每根橫梁上在與每塊玻璃基板相對應的位 置處、每根中橫梁上在與每塊玻璃基板相對應的位置處分別固定有固定板，固定板上在每塊 玻璃基板的兩側分別固定有一根固定桿，固定桿與玻璃基板之間具有間隙。

6.根據權利要求5所述的玻璃基板蝕刻裝置，其特征在于：所述固定桿采用高分子樹 脂材料制成。

7.根據權利要求6所述的玻璃基板蝕刻裝置，其特征在于：所述固定桿與玻璃基板之 間的間隙為1～1.5mm。

8.根據權利要求7所述的玻璃基板蝕刻裝置，其特征在于：所述固定板的兩個角處分 別開設斜向玻璃基板的通孔，所述每根固定桿的一端插入通孔內且與固定板粘貼固定，所述 每根固定桿的另一端斜向延伸至玻璃基板的一側。