[發明專利]氣體激光諧振器

有效

• 申請號: 200910151776.2
• 申請日: 2009-07-15
• 公開（公告）號: CN101630809A
• 公開（公告）日: 2010-01-20
• 發明（設計）人: 佐藤孝德;村上孝文;西川佑司
• 申請（專利權）人: 發那科株式會社
• 主分類號: H01S3/22
• 分類號: H01S3/22;H01S3/081
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 張敬強

1.一種氣體激光諧振器，具備：分別具有在軸線方向上排列的多個放電 管(1a～1c，2a～2c；51a～51c，52a～52c，53a～53c，54a～54c；1a～1b， 2a～2b)的多個放電管列(3A～3C；55A～55C；3A～3B)；以這些放電管列 的軸線向相互平行或交叉的方向延伸的方式支撐上述多個放電管列(3A～3C； 55A～55C；3A～3B)的支撐機構(4)；以及，將上述多個放電管列(3A～3C； 55A～55C；3A～3B)，以這些放電管列所具有的上述多個放電管(1a～1c， 2a～2c；51a～51c，52a～52c，53a～53c，54a～54c；1a～1b，2a～2b)的全 部光學性地串聯排列的方式相互光學性連接的光學部件(9)，其特征在于：

上述光學部件(9)具備：在被支撐于上述支撐機構(4)的上述多個放電 管列(3A～3C；55A～55C；3A～3B)的所有的上述放電管(1a～1c，2a～2c； 51a～51c，52a～52c，53a～53c，54a～54c；1a～1b，2a～2b)中的位于光學 性串聯配置的兩端的一對上述放電管(1c，2a；51c，54a；2b，2a)的各自的 一端部所設置的輸出鏡(11)及后部鏡(12)；以及，被上述支撐機構(4)支 撐的上述多個放電管列(3A～3C；55A～55C；3A～3B)的在光學性連接部 (8)所設置的折返鏡(13，14；13)，

上述支撐機構(4)，具備：

將上述多個放電管列(3A～3C；55A～55C；3A～3B)的每一個的上述 多個放電管(1a～1c，2a～2c；51a～51c，52a～52c，53a～53c，54a～54c； 1a～1b，2a～2b)，以在上述軸線方向上排列的狀態相互連接地進行支撐的放 電管連接座(5；61，62，63)，

配置于上述多個放電管列(3A～3C；55A～55C；3A～3B)的各個軸線 方向兩端，在上述軸線向相互平行或交叉的方向延伸的狀態下支撐這些放電管 列(3A～3C；55A～55C；3A～3B)的一對端板(15，16)，

以兩端固定于上述一對的端板(15，16)上，在這些端板(15，16)之間 延伸設置的多個支撐桿(21，22，23，24)，

將上述放電管連接座(5；61，62，63)連接在沿重力方向上側配置的第 一上述支撐桿(23，24)上的彈性部件(26，27；71，72；81，82，83，84， ?91，92，93，94)，

以及將上述放電管連接座(5；61，62，63)固定于沿重力方向下側配置 的第二上述支撐桿(21，22)上的剛性部件(25)。

2.根據權利要求1所述的氣體激光諧振器，其特征在于：

上述彈性部件是彈簧(71，72)。

3.根據權利要求1所述的氣體激光諧振器，其特征在于：

上述彈性部件是板金(81，82，83，84，91，92，93，94)。

4.根據權利要求1～3任意一項所述的氣體激光諧振器，其特征在于：

上述支撐機構，具備：包括配置于向上述多個放電管列(55A～55C)供 給激光氣體的位置的第一上述放電管連接座(62)和配置于從上述多個放電管 列(55A～55C)回收激光氣體的位置的第二上述放電管連接座(61，63)的 多個上述放電管連接座(61、62、63)；將該第一上述放電管連接座(62)通 過上述剛性部件(25)，固定于沿重力方向下側配置的上述支撐桿(21，22) 上的同時，將其通過另一剛性部件(67)固定于沿重力方向上側配置的上述支 撐桿(23，24)上；以及將該第二上述放電管連接座(61，63)通過上述彈性 部件(26、27；71、72；81-84、91-94)連接于沿上述重力方向上側配置的上 述支撐桿(23，24)的同時，將其通過上述剛性部件(25)固定于沿上述重力 方向下側配置的上述支撐桿(21、22)。