[發明專利]壓力傳感器

有效

• 申請號: 200910147417.X
• 申請日: 2009-06-10
• 公開（公告）號: CN101603871A
• 公開（公告）日: 2009-12-16
• 發明（設計）人: 本山久雄
• 申請（專利權）人: 愛普生拓優科夢株式會社
• 主分類號: G01L9/08
• 分類號: G01L9/08
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃綸偉;馬建軍

1.一種壓力傳感器，其特征在于，該壓力傳感器具有：

外殼，其內部保持為真空狀態；

壓力輸入口，其在形成于所述外殼上的接頭部開口；

一面為受壓面的膜片，其封閉所述壓力輸入口；

力傳遞單元，其從所述外殼內部連接到所述膜片的另一面的中央部； 以及

感壓元件，其以力的檢測方向為檢測軸，

所述力傳遞單元的位移方向和所述檢測軸的方向與所述受壓面大致 垂直，

所述感壓元件的一端經由粘接單元支承固定在所述外殼上，另一端 經由粘接單元支承固定在所述力傳遞單元上，

所述粘接單元是無機粘接劑，

所述感壓元件具有設置于該感壓元件的兩端部上的基部，在設置于 所述兩端部上的基部之間具有振動部。

2.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述無機粘接劑包含氧化鋁和Si化合物。

3.一種壓力傳感器，其特征在于，該壓力傳感器具有：

外殼，其具有壓力輸入口，該外殼的內部保持為真空狀態；

外表面為受壓面的膜片，其封閉該外殼的所述壓力輸入口；

力傳遞單元，其在所述外殼內部與所述膜片的中央區域連接，與該 膜片連動地在與該膜片的受壓面垂直的方向上運動；以及

感壓元件，其與該力傳遞單元和所述外殼連接，沿著與所述膜片的 受壓面垂直的軸設定檢測軸，

所述感壓元件具有設置于該感壓元件的兩端部上的基部，在設置于 所述兩端部上的基部之間具有振動部，

所述感壓元件的基部通過無機粘接劑與所述力傳遞單元和所述外殼 粘接。

4.一種壓力傳感器，其特征在于，該壓力傳感器具有：

外殼，其內部保持為真空狀態；

一對壓力輸入口，其同軸地設置在該外殼的對置的端面板上；

外表面為受壓面的第1、第2膜片，其封閉所述壓力輸入口；

力傳遞單元，其在所述外殼內部將所述膜片的內表面的中央區域彼 此連接；以及

感壓元件，其一端與該力傳遞單元的中途連接，另一端與所述外殼 連接，并且，與垂直于所述膜片的受壓面的軸平行地排列檢測軸，

所述感壓元件具有設置于該感壓元件的兩端部上的基部，在設置于 所述兩端部上的基部之間具有振動部，

所述感壓元件的基部通過無機粘接劑與所述力傳遞單元和所述外殼 粘接。

5.一種壓力傳感器，其特征在于，該壓力傳感器具有：

外殼，其內部保持為真空狀態；

壓力輸入口，其設置在該外殼的端面板上；

外表面為受壓面的膜片，其封閉所述壓力輸入口；

力傳遞單元，其在所述外殼內部，在所述膜片的內表面的中央區域 配置在與該膜片的受壓面垂直的軸線上，且與對置的外殼端面板連接； 以及

感壓元件，其一端與該力傳遞單元的中途連接，另一端與所述外殼 連接，并且，與垂直于所述膜片的受壓面的軸同軸地設定檢測軸，

所述感壓元件具有設置于該感壓元件的兩端部上的基部，在設置于 所述兩端部上的基部之間具有振動部，

所述感壓元件的基部通過無機粘接劑與所述力傳遞單元和所述外殼 粘接。

6.根據權利要求3～5中的任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，

在所述外殼的內部與所述檢測軸平行地設置有支柱。

7.根據權利要求3～5中的任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，

通過中心軸形成所述力傳遞單元，

與所述中心軸平行地配置感壓元件。

8.根據權利要求3～5中的任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述膜片嵌入到形成于所述外殼的端面板的外表面上的凹陷部中， 與所述端面板排列在同一平面上。