[發明專利]一種選擇式射極太陽能電池的制造方法有效
| 申請號： | 200910142350.0 | 申請日： | 2009-06-01 |
| 公開（公告）號： | CN101901851A | 公開（公告）日： | 2010-12-01 |
| 發明（設計）人： | 王政烈;吳月花 | 申請（專利權）人： | 和艦科技(蘇州)有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/0232 |
| 代理公司： | 北京連和連知識產權代理有限公司 11278 | 代理人： | 鄭光 |
| 地址： | 215025 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 選擇 式射極 太陽能電池 制造 方法 | ||
1.一種選擇式射極太陽能電池的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1：在P型導電基板上通過涂布含有N形雜質的漿料進行熱擴散或直接通過氣相擴散以形成N型擴散層；
步驟2：在形成有N型擴散層的P型導電基板上形成圖案狀的電極；
步驟3：在形成有電極的P型導電基板上植入P型雜質，使得在覆蓋有電極的N型擴散層部分的N型擴散濃度高于沒有覆蓋電極的N型擴散層部分的N型擴散濃度。
2.根據權利要求1所述的一種選擇式射極太陽能電池的制造方法，其特征在于，在上述步驟1之前，在P型導電基板上蝕刻出紋路。
3.根據權利要求2所述的一種選擇式射極太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述蝕刻為堿蝕刻、酸蝕刻或反應離子蝕刻。
4.根據權利要求1所述的一種選擇式射極太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述步驟1的氣相擴散為使用POCl3的氣相擴散。
5.根據權利要求1所述的一種選擇式射極太陽能電池的制造方法，其特征在于，在上述步驟1后還包括：在上述擴散層表面形成抗反射膜。
6.根據權利要求5所述的一種選擇式射極太陽能電池的制造方法，其特征在于，上述抗反射膜的形成采用沉積法、等離子體化學氣相沉積法或真空蒸鍍法。
7.根據權利要求5所述的一種選擇式射極太陽能電池的制造方法，其特征在于，上述抗反射膜采用氮化硅膜、氧化膜、二氧化鈦膜、氧化鋅膜、氧化錫膜中的一種。
8.根據權利要求1所述的一種選擇式射極太陽能電池的制造方法，其特征在于，上述步驟2還包括：在P型導電基板不透光的背面涂布金屬組成的漿料，并使之干燥。
9.根據權利要求1所述的一種選擇式射極太陽能電池的制造方法，其特征在于，上述步驟2中電極的形成采用印刷法、真空蒸鍍法或濺鍍法。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
