[發明專利]試劑分配裝置及輸送方法

有效

• 申請號: 200910141925.7
• 申請日: 2009-04-10
• 公開（公告）號: CN101608734A
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發明（設計）人: J·D·佩克
• 申請（專利權）人: 普萊克斯技術有限公司
• 主分類號: F17D1/04
• 分類號: F17D1/04;F17D3/01;F17D5/00;C23C16/455
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 范曉斌;曹 若

1.一種氣相試劑分配裝置，包括：

器皿，所述器皿包括頂壁部件、側壁部件和底壁部件，所述頂壁部件、側 壁部件和底壁部件構造成能夠形成內部器皿室，以保持高至灌裝線的源化學品， 并額外地限定出灌裝線之上的內部氣體空間；

所述頂壁部件具有第一面密封端口開口、第二面密封端口開口以及任選的 一個或多個其他面密封端口開口；

所述第一面密封端口開口具有與其相連的載氣供應入口接頭；

連接器，所述連接器包括連接至導管的金屬面密封墊圈，該導管延伸通過 第一面密封端口開口和所述內部氣體空間而進入該源化學品，并且通過該導管 能夠將載氣鼓入源化學品中，以使得源化學品蒸氣的至少一部分被帶入所述載 氣中，從而產生至灌裝線之上的所述內部氣體空間的氣相試劑流，所述導管具 有鄰近第一面密封端口開口的入口端和鄰近底壁部件的出口端；

所述第一面密封端口開口和所述載氣供應入口接頭具有相對的表面，其中， 所述相對的表面并不互相接觸；

所述金屬面密封墊圈與所述第一面密封端口開口和所述載氣供應入口接頭 的所述相對的表面對準并接觸；

緊固部件，用于通過所述相對的表面和所述金屬面密封墊圈將載氣供應入 口接頭固定到所述第一面密封端口開口；以及

所述第二面密封端口開口具有與其相連的氣相試劑出口接頭，通過氣相試劑 出口接頭能夠從所述裝置分配所述氣相試劑。

2.如權利要求1所述的氣相試劑分配裝置，其中，該器皿由不銹鋼制成。

3.如權利要求1所述的氣相試劑分配裝置，其中，該導管包括鼓泡器導管并 且由不銹鋼制成。

4.如權利要求1所述的氣相試劑分配裝置，進一步包括：

載氣供應管線，所述載氣供應管線在外部從載氣供應入口接頭伸出，以輸 送載氣進入所述源化學品，載氣供應管線包括位于其內的一個或多個載氣流量 控制閥，用來控制從其通過的載氣的流量；以及

氣相試劑排放管線，所述氣相試劑排放管線在外部從氣相試劑出口接頭伸 出，以從灌裝線之上的所述內部氣體空間移走氣相試劑，氣相試劑排放管線任 選地包括位于其內的一個或多個氣相試劑流量控制閥，用來控制從其通過的氣 相試劑的流量。

5.如權利要求1所述的氣相試劑分配裝置，其中，所述底壁部件具有位于其 內的集液槽凹穴，該集液槽凹穴從所述底壁部件的表面向下延伸。

6.如權利要求5所述的氣相試劑分配裝置，進一步包括：

溫度傳感器，所述溫度傳感器從所述頂壁部件基本垂直向下延伸通過該內 部氣體空間并進入該源化學品，并且溫度傳感器的下端定位成無干擾地接近該 集液槽凹穴的表面；

源化學品水平傳感器，所述源化學品水平傳感器經過所述頂壁部件上的第 三面密封端口開口基本垂直向下延伸通過該內部氣體空間并進入該源化學品， 并且源化學品水平傳感器的下端定位成無干擾地接近該集液槽凹穴的表面；以 及

溫度傳感器可操作地布置在器皿內以確定器皿中的源化學品的溫度，源化 學品水平傳感器可操作地布置在器皿內以確定器皿中的源化學品的水平，溫度 傳感器和源化學品水平傳感器在器皿內定位成無干擾地互相接近，并且與源化 學品水平傳感器的下端相比，溫度傳感器的下端定位成相同地或更靠近地接近 集液槽凹穴的表面，并且溫度傳感器和源化學品水平傳感器在器皿中成源化學 品流動連通。

7.如權利要求4所述的氣相試劑分配裝置，進一步包括：

所述氣相試劑排放管線，所述氣相試劑排放管線與氣相輸送沉積系統成氣 相試劑流動連通，所述沉積系統選自化學氣相沉積系統或原子層沉積系統。

8.如權利要求1所述的氣相試劑分配裝置，其中，所述器皿包括圓柱形的側 壁部件或限定非圓柱形狀的側壁部件。

9.如權利要求1所述的氣相試劑分配裝置，其中，源化學品包括液體或固體 材料。

10.一種液相試劑分配裝置，包括：

器皿，所述器皿包括頂壁部件、側壁部件和底壁部件，所述頂壁部件、側壁 部件和底壁部件構造成能夠形成內部器皿室，以保持高至灌裝線的源化學品， 并額外地限定出灌裝線之上的內部氣體空間；

所述頂壁部件具有第一面密封端口開口、第二面密封端口開口以及任選的一 個或多個其他面密封端口開口；

所述第一面密封端口開口具有與其相連的惰性氣體供應入口接頭，通過惰性 氣體供應入口接頭可將惰性氣體供應至灌裝線之上的內部氣體空間內，從而對 灌裝線之上的內部氣體空間進行加壓；

所述第二面密封端口開口具有與其相連的液相試劑出口接頭；

連接器，所述連接器包括與導管連接的金屬面密封墊圈，該導管延伸通過 第二面密封端口開口和所述內部氣體空間而進入該源化學品，并且通過該導管 能夠從所述裝置分配液相試劑，所述導管具有鄰近第二面密封端口開口的出口 端和鄰近底壁部件的入口端；

所述第二面密封端口開口和所述液相試劑出口接頭具有相對的表面，其中， 所述相對的表面并不互相接觸；

所述金屬面密封墊圈與所述第二面密封端口開口和所述液相試劑出口接頭 的所述相對的表面對準并接觸；以及

緊固部件，用于通過所述相對的表面和所述金屬面密封墊圈將液相試劑出 口接頭固定到所述第二面密封端口開口。