[發明專利]光阻組合物及圖案形成方法

有效

• 申請號: 200910140187.4
• 申請日: 2009-07-10
• 公開（公告）號: CN101625524A
• 公開（公告）日: 2010-01-13
• 發明（設計）人: 渡邊聰;田中啟順;渡邊武;金生剛
• 申請（專利權）人: 信越化學工業株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/00;G03F7/20
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 菅興成;吳小瑛

1.一種化學增幅型光阻組合物，其特征在于，含有：

(A1)基礎樹脂，其是以酸不穩定基保護而具有酸性官能基的堿不溶性 或難溶性的樹脂，當該酸不穩定基脫離時會變成堿可溶性；

(B)酸產生劑；及

(C)1種或2種以上的具有羧基且不含有共價鍵結于堿性中心即氮上的 氫的胺化合物，但排除胺的氮原子被包含于芳香環的環狀結構的情形，并且 是以下述一般式(1)表示的具有羧基的胺化合物，

式中，R₁、R₂分別是碳數2～20的直鏈狀、支鏈狀或環狀的烷基，R₃是 氫；R₄是碳數0～20的直鏈狀、支鏈狀或環狀的亞烷基。

2.一種化學增幅型光阻組合物，其特征在于，含有：

(A2)堿可溶性且通過酸催化劑而變成堿不溶性的基礎樹脂、及/或堿 可溶性且通過酸催化劑而與交聯劑反應并變成堿不溶性的基礎樹脂與交聯劑 的組合；

(B)酸產生劑；及

(C)1種或2種以上的具有羧基且不含有共價鍵結于堿性中心即氮上的 氫的胺化合物，但排除胺的氮原子被包含于芳香環的環狀結構的情形，并且 是以下述一般式(1)表示的具有羧基的胺化合物，

式中，R₁、R₂分別是碳數2～20的直鏈狀、支鏈狀或環狀的烷基；R₃是 氫；R₄是碳數0～20的直鏈狀、支鏈狀或環狀的亞烷基。

3.如權利要求1或2所述的化學增幅型光阻組合物，其中，進而含有1 種或2種以上的以下述一般式(4)表示的胺化合物，

式中，R₇、R₈、R₉分別是氫原子、碳數1～20的直鏈狀、支鏈狀或環狀 的烷基、碳數6～20的芳基、碳數7～20的芳烷基、碳數2～10的羥烷基、 碳數2～10的烷氧基烷基、碳數2～10的酰氧基烷基、碳數1～10的烷硫基 烷基的任一種；又，R₇、R₈、R₉中的2個也可鍵結而形成環狀結構。

4.如權利要求1或2所述的化學增幅型光阻組合物，其中，進而含有1 種或2種以上的以下述一般式(5)表示的氧化胺化合物，

式中，R₇、R₈、R₉分別是氫原子、碳數1～20的直鏈狀、支鏈狀或環狀 的烷基、碳數6～20的芳基、碳數7～20的芳烷基、碳數2～10的羥烷基、 碳數2～10的烷氧基烷基、碳數2～10的酰氧基烷基、碳數1～10的烷硫基 烷基的任一種；又，R₇、R₈、R₉中的2個也可鍵結而形成環狀結構。