[發(fā)明專利]銅靶材表面的處理方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910139742.1
• 申請日: 2009-06-30
• 公開（公告）號: CN101597727A
• 公開（公告）日: 2009-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚立軍;潘杰;王學(xué)澤;俞柏森;鮑偉江;劉慶
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: C22F1/08
• 分類號: C22F1/08;C23C14/34;C23C14/14
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 李 麗

1.一種銅靶材表面的處理方法，其特征在于，包括：

將銅靶材區(qū)分出濺射區(qū)和非濺射區(qū)；

用125號玻璃珠對所述非濺射區(qū)的表面進(jìn)行噴丸處理；

其中，所述噴丸處理中，噴射彈丸方向與非濺射區(qū)的表面所成角度為45°的整數(shù)倍。

2.如權(quán)利要求1所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，所述噴丸處理中，噴射彈丸方向與非濺射區(qū)的表面成45°。

3.如權(quán)利要求1所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，所述噴丸處理中，噴射彈丸方向與非濺射區(qū)的表面成90°。

4.如權(quán)利要求1所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，所述噴丸處理中，噴射彈丸方向與非濺射區(qū)的表面成135°。

5.如權(quán)利要求1-4任意權(quán)利要求所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，將所述非濺射區(qū)的表面分為第一非濺射區(qū)表面和第二非濺射區(qū)表面，用所述125號玻璃珠對所述第一非濺射區(qū)表面和第二非濺射區(qū)表面進(jìn)行所述噴丸處理，其中，所述第一非濺射區(qū)表面和第二非濺射區(qū)表面不屬于一個(gè)平面。

6.如權(quán)利要求5所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，先對所述第一非濺射區(qū)表面進(jìn)行所述噴丸處理，后對所述第二非濺射區(qū)表面進(jìn)行所述噴丸處理。

7.如權(quán)利要求5所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，同時(shí)對所述第一非濺射區(qū)表面、第二非濺射區(qū)表面進(jìn)行所述噴丸處理。

8.如權(quán)利要求1-4任意權(quán)利要求所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，進(jìn)行所述噴丸處理前，對125號玻璃珠進(jìn)行彈丸篩選。

9.如權(quán)利要求6所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，對所述125號玻璃珠進(jìn)行彈丸篩選包括：

選取125號玻璃珠的最大標(biāo)準(zhǔn)篩網(wǎng)；

去除覆蓋住最大標(biāo)準(zhǔn)篩網(wǎng)表面的125號玻璃珠；

選取125號玻璃珠的最小標(biāo)準(zhǔn)篩網(wǎng)；

去除通過最小標(biāo)準(zhǔn)篩網(wǎng)表面的125號玻璃珠。

10.如權(quán)利要求6所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，對所述125號玻璃珠進(jìn)行彈丸篩選前，對彈丸質(zhì)量預(yù)先評定。

11.如權(quán)利要求8所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，對所述彈丸質(zhì)量預(yù)先評定包括：

按網(wǎng)洞大小選用若干125號玻璃珠篩網(wǎng)；

根據(jù)網(wǎng)洞由大到小順序依次從上到下放置篩網(wǎng)，網(wǎng)洞最大放置在最上，網(wǎng)洞最小放置在最下；

將全部125號玻璃珠倒入網(wǎng)洞最大的篩網(wǎng)，玻璃珠會(huì)依據(jù)大小的不同落入網(wǎng)洞不同的篩網(wǎng)；

將各篩網(wǎng)上的125號玻璃珠倒入相應(yīng)編號的容器中；

將各篩網(wǎng)上的125號玻璃珠在電子秤上稱量并記錄數(shù)據(jù)；

將各篩網(wǎng)上的125號玻璃珠的重量相加得出總的重量；

計(jì)算出各篩網(wǎng)上的125號玻璃珠的重量占總重量的百分比。

12.如權(quán)利要求1-4任一權(quán)利要求所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，進(jìn)行所述噴丸處理前，對銅靶材表面的濺射區(qū)進(jìn)行遮蔽保護(hù)。

13.如權(quán)利要求1-4任意權(quán)利要求所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，進(jìn)行所述噴丸處理后，進(jìn)行粗糙度檢查。

14.如權(quán)利要求1-4任意權(quán)利要求所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，所述噴丸處理中，空壓機(jī)氣壓為6.0×10⁵～6.5×10⁵Pa。

15.如權(quán)利要求1-4任意權(quán)利要求所述的銅靶材表面的處理方法，其特征在于，所述噴丸處理中，噴嘴到非濺射區(qū)表面距離為20-30mm。