[發明專利]光刻膠樹脂、及利用其形成圖案的方法和制造顯示面板的方法

有效

• 申請號: 200910134442.4
• 申請日: 2009-04-14
• 公開（公告）號: CN101561632A
• 公開（公告）日: 2009-10-21
• 發明（設計）人: 樸廷敏;鄭斗喜;李政洙;李羲國;吳世泰;姜德萬;崔宰榮
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社;AZ電子材料(日本)株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/008;H01L21/336;H01L21/027;H01L21/84
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 吳貴明;張 英

1.一種光刻膠樹脂組合物，包括堿溶性樹脂、光刻膠化合物、和 溶劑，其中，所述堿溶性樹脂包括由以下的化學式1表示的第 一聚合物樹脂，

化學式1

其中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅和R₆中的至少一個是羥基， 至少兩個是甲基，其余的任意基團是氫，而R₇、R₈、R₉、R₁₀和R₁₁中的至少一個是羥基，至少兩個是甲基，其余的任意基 團是氫，

其中所述光刻膠化合物是在曝光時發生光化學反應從而 產生酸或自由基的化合物。

2.根據權利要求1所述的光刻膠樹脂組合物，其中，所述堿溶性 樹脂進一步包括選自由酚醛樹脂、丙烯酸樹脂、及它們的組合 所構成的組中的第二聚合物樹脂。

3.根據權利要求2所述的光刻膠樹脂組合物，其中，所述第一聚 合物樹脂的量為所述堿溶性樹脂總重量的1wt％至50wt％。

4.根據權利要求3所述的光刻膠樹脂組合物，其中，所述第一聚 合物樹脂由酚單體和醛化合物形成，且所述醛化合物是水楊醛 化合物。

5.根據權利要求1所述的光刻膠樹脂組合物，其中，所述光刻膠 化合物是鄰疊氮萘醌化合物。

6.根據權利要求1所述的光刻膠樹脂組合物，其中，所述光刻膠 樹脂組合物包括基于所述光刻膠樹脂組合物的總重量計5 wt％至30wt％的所述堿溶性樹脂、2wt％至10wt％的所述光 刻膠化合物、以及剩余量的溶劑。

7.一種用于形成圖案的方法，包括：

在襯底上形成薄膜；

通過在所述薄膜上涂布包括堿溶性樹脂、光刻膠化合物、 以及溶劑的光刻膠樹脂組合物而形成光刻膠膜，所述堿溶性樹 脂包括由以下的化學式1表示的第一聚合物樹脂，

化學式1

使所述光刻膠膜曝光并顯影以形成光刻膠圖案；以及

通過所述光刻膠圖案蝕刻所述薄膜，

其中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅和R₆中的至少一個是羥基， 至少兩個是甲基，其余的任意基團是氫，而R₇、R₈、R₉、R₁₀ 和R₁₁中的至少一個是羥基，至少兩個是甲基，其余的任意基 團是氫，

其中所述光刻膠化合物是在曝光時發生光化學反應從而 產生酸或自由基的化合物。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，所述堿溶性樹脂進一步包 括選自由酚醛樹脂、丙烯酸樹脂、及它們的組合所構成的組中 的第二聚合物樹脂。

9.根據權利要求8所述的方法，其中，所述第一聚合物樹脂的量 為所述堿溶性樹脂總重量的5wt％至50wt％。