[發(fā)明專利]循環(huán)式基板燒成爐

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910132281.5
• 申請日: 2009-04-30
• 公開（公告）號: CN101749949A
• 公開（公告）日: 2010-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 大見忠弘;村岡祐介;宮路恭祥
• 申請（專利權(quán)）人: 國立大學法人東北大學;株式會社未來視野
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;H01L21/00;C03C17/00
• 代理公司: 隆天國際知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 郭曉東;馬少東

1.一種循環(huán)式基板燒成爐，使熱風循環(huán)來進行基板的燒成處理，其特征在于，具有：

爐體主體部，其在內(nèi)部容置基板；

循環(huán)路徑，其使從所述爐體主體部排出的熱風循環(huán)，并再次供給至所述爐體主體部中；

循環(huán)扇，其設(shè)置在所述循環(huán)路徑上，使熱風循環(huán)；

主加熱器，其對在所述循環(huán)路徑中循環(huán)的熱風進行加熱；

催化劑過濾部，其設(shè)置在所述循環(huán)路徑上，具有擔載催化劑的金屬過濾器；

捕獲裝置，其設(shè)置在所述循環(huán)路徑上，用于捕獲二氧化碳和/或水分。

2.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于，

所述捕獲裝置包括兩個捕獲塔，所述兩個捕獲塔并列設(shè)置在兩個流路上，其中，所述兩個流路是在所述循環(huán)路徑的中途被分支為兩叉并再次合流的兩個流路，

該循環(huán)式基板燒成爐具有：

切換裝置，其擇一地切換所述兩個流路，使得熱風在所述兩個捕獲塔中的某一個中通過；

切換控制部，其用于控制所述切換裝置的切換時機。

3.如權(quán)利要求2所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于，

所述兩個捕獲塔是吸附二氧化碳和/或水分的兩個吸附塔。

4.如權(quán)利要求2所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于，

所述兩個捕獲塔是吸收二氧化碳的兩個吸收塔。

5.如權(quán)利要求4所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于，

所述兩個吸收塔分別具有：

二氧化碳的吸收材料；

放出用加熱器，其用于使所吸收的二氧化碳從所述吸收材料放出；

回收系統(tǒng)，其用于回收從所述吸收材料放出的二氧化碳。

6.如權(quán)利要求1～5中任一項所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于，

所述催化劑過濾部設(shè)置于所述循環(huán)路徑中的所述爐體主體部的下游側(cè)且位于所述爐體主體部至所述捕獲裝置之間。

7.如權(quán)利要求1～5中任一項所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于，

所述催化劑過濾部設(shè)置于所述循環(huán)路徑中的所述主加熱器的下游側(cè)且位于所述主加熱器至所述爐體主體部之間。

8.如權(quán)利要求2～5中任一項所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于，

所述催化劑過濾部分別設(shè)置在所述兩個流路上。

9.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于，

所述催化劑包括光催化劑，

所述催化劑過濾部具有光照射裝置，所述光照射裝置用于向所述光催化劑照射光。

10.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)式基板燒成爐，其特征在于，

在所述爐體主體部的熱風導入口具有金屬過濾器。