[發明專利]一種電橋結構的紅外溫度傳感器無效
| 申請號： | 200910107270.1 | 申請日： | 2009-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN101881668A | 公開（公告）日： | 2010-11-10 |
| 發明（設計）人： | 蔡毅;王宏臣 | 申請（專利權）人： | 世紀晶源科技有限公司 |
| 主分類號： | G01J5/24 | 分類號： | G01J5/24;H01L31/09 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518107 廣東省深圳市光明新*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電橋 結構 紅外 溫度傳感器 | ||
1.一種電橋結構的紅外溫度傳感器，包括襯底上的電阻器電橋，該電阻器電橋包括光敏電阻、環境參考電阻和焦耳熱參考電阻，其特征在于：所述的光敏電阻和焦耳熱參考電阻下邊的襯底設置有凹槽，該凹槽與其上的電阻形成懸浮橋式結構。
2.根據權利要求1所述的電橋結構的紅外溫度傳感器，其特征在于：所述的電阻由測溫材料制成，該測溫材料是氧化釩。
3.根據權利要求1或2所述的電橋結構的紅外溫度傳感器，其特征在于：所述的凹槽的深度為100微米-500微米。
4.根據權利要求2所述的電橋結構的紅外溫度傳感器，其特征在于：所述的電阻為四個，其中光敏電阻和焦耳熱參考電阻各一個，環境參考電阻兩個。
5.根據權利要求4所述的電橋結構的紅外溫度傳感器，其特征在于：所述的電阻還包括有腐蝕孔，所述的凹槽通過該腐蝕孔滲透腐蝕液或活性離子刻蝕襯底而形成。
6.根據權利要求2所述的電橋結構的紅外溫度傳感器，其特征在于：所述的光敏電阻上設置有紅外吸收層，該紅外吸收層采用黑金材料制成。
7.根據權利要求2所述的電橋結構的紅外溫度傳感器，其特征在于：所述焦耳熱參考電阻之上設置有一金屬反射層，該金屬反射層采用鈦材料制成。
8.根據權利要求2所述的電橋結構的紅外溫度傳感器，其特征在于：所述的測溫材料氧化釩為薄膜結構，該薄膜的厚度為0.05微米-0.2微米。
9.根據權利要求6所述的電橋結構的紅外溫度傳感器，其特征在于：所述的黑金材料為薄膜結構，該薄膜結構的厚度為0.01微米-0.1微米。
10.根據權利要求7所述的電橋結構的紅外溫度傳感器，其特征在于：所述的屬反射層鈦-白金為薄膜結構，該薄膜的厚度為0.05微米-0.1微米。
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