[實用新型]一種用于加工基材的拋光制品無效
| 申請號： | 03257527.0 | 申請日： | 2003-05-07 |
| 公開（公告）號： | CN2751972Y | 公開（公告）日： | 2006-01-18 |
| 發明（設計）人： | Y·胡;Y·王;A·迪布斯特;F·Q·劉;R·馬夫列夫;L-Y·陳;R·莫拉德;S·索梅克 | 申請（專利權）人： | 應用材料有限公司 |
| 主分類號： | B24D3/00 | 分類號： | B24D3/00;B24D3/34;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民;彭益群 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 加工 基材 拋光 制品 | ||
【權利要求書】：
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