[發(fā)明專利]硅基電容式麥克風(fēng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910106511.0
• 申請日: 2009-04-03
• 公開（公告）號: CN101568055B
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 葛舟;張睿
• 申請（專利權(quán)）人: 瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司;瑞聲聲學(xué)科技(常州)有限公司
• 主分類號: H04R19/01
• 分類號: H04R19/01;H04R19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)硅基電容式麥克風(fēng)。?

【背景技術(shù)】

目前應(yīng)用較多的麥克風(fēng)包括傳統(tǒng)的駐極體麥克風(fēng)和新興的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)(Micro-Electro-Mechanical-System?Microphone，簡稱MEMS麥克風(fēng))，MEMS麥克風(fēng)是基于硅基半導(dǎo)體材料制成，故又稱硅基麥克風(fēng)。其封裝體積比傳統(tǒng)的駐極體麥克風(fēng)小，性能也佳。因而，近幾年，硅基MEMS麥克風(fēng)取得了很大的發(fā)展空間。?

如圖1所示，為相關(guān)的MEMS硅基麥克風(fēng)2的剖視示意圖，其包括中心設(shè)有空腔200的基底20、收容于空腔內(nèi)的背極板21、與背極板相對且間隔一定距離的振膜22，振膜包括位于中央位置的振動主體220和由振動主體外周側(cè)延伸而出的多個支撐臂221，振膜通過支撐臂與基底相連。當(dāng)聲音氣流傳遞到振膜上時，振動主體以支撐臂為轉(zhuǎn)動力臂，上下振動以產(chǎn)生位移。但是，該類麥克風(fēng)由于振動主體外周側(cè)接近基底空腔20的內(nèi)壁201，故作為轉(zhuǎn)動力臂的支撐臂的有效距離很短，導(dǎo)致振動主體的振幅有限。為了解決這個問題，有方案將振動主體的尺寸減小，讓振動主體離基底空腔內(nèi)壁的距離增大，從而使作為轉(zhuǎn)動力臂的支撐臂的有效距離增大，這樣雖然可有效地提高振動主體的振幅，但是振動主體的尺寸減少，產(chǎn)品的靈敏度會有所下降。?

因而，有必要研究一種新的解決方案使支撐臂的有效距離增大，同時又不減小振動主體的尺寸。?

【發(fā)明內(nèi)容】

本發(fā)明需解決的技術(shù)問題是提供一種靈敏度高的硅基電容式麥克風(fēng)。?

根據(jù)上述需解決的技術(shù)問題，本發(fā)明設(shè)計了一種硅基電容式麥克風(fēng)，包括中心設(shè)有空腔的基底、收容于空腔內(nèi)的背極板、與背極板相對且間隔一定距離的振膜，基底包括上表面，所述振膜包括位于中央位置的振動主體和由振動主體外周側(cè)延伸而出的多個支撐臂，所述支撐臂包括與振動主體周側(cè)相連的首端、與基底上表面相連的末端、及首端與末端之間的中間段，所述基底在支撐臂中間段的正下方設(shè)有自空腔內(nèi)壁向遠(yuǎn)離空腔中心凹陷的讓位槽，所述讓位槽的寬度略大于支撐臂中間段的寬度。?

作為本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)，所述讓位槽的深度自支撐臂延伸至背極板。?

作為本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)，所述讓位槽與支撐臂的形狀相匹配。?

作為本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)，所述多個支撐臂關(guān)于振動主體的中心點相對稱。?

作為本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)，所述多個支撐臂分別與振動主體的中心點位于一條直線上。?

作為本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)，所述支撐臂至少為4個。?

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明通過設(shè)有的讓位槽，可根據(jù)調(diào)整讓位槽和支撐臂的尺寸，實現(xiàn)調(diào)整振膜的轉(zhuǎn)動力臂的長度。在使振動主體尺寸不減少的情況下，可使支撐臂與基底相連的位置至振動主體的距離延長，即使振膜的轉(zhuǎn)動力臂得到延長，從而提高振膜振動幅度，以達(dá)到提高產(chǎn)品的靈敏度。?

【附圖說明】

圖1是相關(guān)MEMS硅基麥克風(fēng)的剖視示意圖；?

圖2是本發(fā)明硅基電容式麥克風(fēng)的立體示意圖；?

圖3是圖2中去除掉振膜的示意圖；?

圖4是圖2的半剖示意圖；?

圖5是圖4中A處的放大圖。?

【具體實施方式】?

下面結(jié)合附圖和實施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。?

如圖2和圖4所示，本發(fā)明硅基電容式麥克風(fēng)1包括基底10、固持于基底10的背極板11、振膜12。基底10包括上表面101，中心設(shè)有空腔100，空腔包括內(nèi)壁1000。背極板上設(shè)有導(dǎo)氣孔110，其收容于空腔100內(nèi)。?

振膜12與背極板11相對，且間隔一定距離。振膜包括位于中央位置的振動主體120和由振動主體外周側(cè)延伸而出的多個支撐臂121，支撐臂的數(shù)量至少4個以上，本實施例的支撐臂數(shù)量為8個，當(dāng)然也可為6個、12個等等。該8個支撐臂121分別與振動主體的中心點位于一條直線上，即，該8個支撐臂以振動主體的中心，呈發(fā)射狀分布在振動主體的外周側(cè)。該8個支撐臂均勻分布，并且關(guān)于振動主體的中心點相對稱。?

支撐臂121包括與振動主體周側(cè)相連的首端121a、與基底上表面相連的末端121b、及首端與末端之間的中間段121c。振膜12通過支撐臂的末端121b與上表面101相連而被支承在基底上。?