[發(fā)明專利]硅基電容式麥克風(fēng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910106511.0 | 申請日： | 2009-04-03 |
| 公開（公告）號： | CN101568055B | 公開（公告）日： | 2012-10-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 葛舟;張睿 | 申請（專利權(quán)）人： | 瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司;瑞聲聲學(xué)科技(常州)有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/01 | 分類號： | H04R19/01;H04R19/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518057 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電容 麥克風(fēng) | ||
1.一種硅基電容式麥克風(fēng)，包括基底、固持于所述基底的背極板、 與背極板相對且間隔一定距離的振膜，所述基底的中心設(shè)有空腔，基底包 括上表面，所述振膜包括位于中央位置的振動主體和由振動主體外周側(cè)延 伸而出的多個支撐臂，所述支撐臂包括與振動主體周側(cè)相連的首端、與基 底上表面相連的末端、及首端與末端之間的中間段，其特征在于：所述基 底在支撐臂中間段的下方設(shè)有自空腔內(nèi)壁向遠離空腔中心凹陷的讓位槽， 所述讓位槽的寬度略大于支撐臂中間段的寬度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基電容式麥克風(fēng)，其特征在于：所述讓 位槽的深度自基底上表面延伸至背極板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基電容式麥克風(fēng)，其特征在于：所述讓 位槽與支撐臂的形狀相匹配。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2、或3所述的硅基電容式麥克風(fēng)，其特征在于： 所述多個支撐臂關(guān)于振動主體的中心點相對稱。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2、或3所述的硅基電容式麥克風(fēng)，其特征在于： 所述多個支撐臂分別與振動主體的中心點位于一條直線上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1、2、或3所述的硅基電容式麥克風(fēng)，其特征在于： 所述支撐臂至少為4個。
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