[發(fā)明專利]一種測量氧化鐵皮厚度方向元素分布的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910080651.5 | 申請日： | 2009-03-23 |
| 公開（公告）號： | CN101509894A | 公開（公告）日： | 2009-08-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蔡寧;鞠新華;徐永林;李舒笳 | 申請（專利權(quán)）人： | 首鋼總公司 |
| 主分類號： | G01N27/68 | 分類號： | G01N27/68 |
| 代理公司： | 北京華誼知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 劉月娥 |
| 地址： | 100041北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 測量 氧化 鐵皮 厚度 方向 元素 分布 方法 | ||
1.一種測量氧化鐵皮厚度方向元素分布的方法，其特征在于，包括 以下步驟：
(1)取樣及表面清洗：將預(yù)測試樣品用機械切割或線切割方式取小 試樣，試樣尺寸、形狀、表面狀態(tài)滿足測試用表面輝光放電光譜儀試驗設(shè) 備的需要；測試表面的灰塵、油污需要清理干凈；
(2)輝光光譜測試：采用表面輝光放電原理測試鐵皮厚度方向元素 分布，將預(yù)測試樣品裝入輝光光譜儀，以試樣作為陰極，在銅質(zhì)陽極內(nèi)利 用高壓使介質(zhì)氣體電離，氣體離子流沖擊樣品表面，樣品表面元素原子被 逐層剝離，被剝離出的元素原子在陽極內(nèi)被激發(fā)發(fā)光，將光束引入光室， 經(jīng)分光系統(tǒng)分解后，通過檢測特征譜線的強度，得到樣品由表及里的元素 組成隨濺射時間的分布數(shù)據(jù)；經(jīng)過計算獲得元素含量隨樣品厚度的分布數(shù) 據(jù)；
(3)濺蝕坑深度標(biāo)定并給出測試結(jié)果；
樣品大小滿足：20mm＜φ＜45mm；厚度介于3～40mm之間；
所述的濺蝕坑深度標(biāo)定并給出測試結(jié)果是指步驟(2)給出的樣品厚 度是軟件計算的結(jié)果，該計算結(jié)果通常與實際測試深度有偏差；因此，當(dāng) 輝光測試結(jié)束后，采用臺階儀、輪廓儀、原子力顯微鏡或激光共聚焦顯微 鏡測量樣品表面的濺蝕坑深度，進(jìn)而修正步驟(2)中樣品厚度的相應(yīng)數(shù) 據(jù)，保持元素含量不變，從而獲得最終的元素分布結(jié)果。
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