[發明專利]新型微電子器件散熱器

有效

• 申請號: 200910080179.5
• 申請日: 2009-03-24
• 公開（公告）號: CN101510533A
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發明（設計）人: 趙耀華;刁彥華;張楷榮
• 申請（專利權）人: 趙耀華
• 主分類號: H01L23/427
• 分類號: H01L23/427;H01L23/367
• 代理公司: 北京海虹嘉誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 張 濤

1.一種新型微電子器件散熱器，其特征在于：包括平板熱管，所述平板熱管為金屬材料經過擠壓或沖壓成型的兩個及以上并排排列的通孔陣列平板結構，所述通孔的等效直徑為0.2mm-6mm，所述通孔內灌裝有液體工質并且平板熱管兩端密封封裝，灌裝有液體工質的通孔自然形成熱管效應；平板熱管的蒸發段與微電子器件的發熱面面接觸，其冷凝段通過散熱部件散熱。

2.根據權利要求1所述的新型微電子器件散熱器，其特征在于，所述通孔內壁上帶有擠壓成型的具有強化傳熱作用的若干微翅片。

3.根據權利要求2所述的新型微電子器件散熱器，其特征在于，相鄰兩個微翅片的距離為0.01mm-0.6mm，微翅片的高度為0.02mm-2mm。

4.根據權利要求2或3所述的新型微電子器件散熱器，其特征在于，所述微翅片的大小和結構適合于與通孔內壁形成沿通孔長度方向走向的毛細微槽。

5.根據權利要求4所述的新型微電子器件散熱器，其特征在于，所述毛細微槽的槽寬為0.01mm-0.4mm，槽深為0.02mm-0.7mm。

6.根據權利要求1所述的新型微電子器件散熱器，其特征在于，所述散熱部件為平板熱管冷凝段外部安裝的金屬散熱部件。

7.根據權利要求6所述的新型微電子器件散熱器，其特征在于，所述金屬散熱部件為外翅片，所述外翅片由鋁或銅制備。

8.根據權利要求1所述的新型微電子器件散熱器，其特征在于，所述通孔兩端密封封裝形成獨立工作的微熱管。

9.根據權利要求1所述的新型微電子器件散熱器，其特征在于，所述平板熱管彎曲成“L”型或類似“L”型；所述“L”型的底部為蒸發段，側面為冷凝段。

10.根據權利要求1所述的新型微電子器件散熱器，其特征在于，所述平板熱管彎曲成“U”型或類似“U”型；所述“U”型的底部為蒸發段，兩側為冷凝段。