[發(fā)明專(zhuān)利]基于恒流源的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)及方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910080056.1
• 申請(qǐng)日: 2009-03-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101839989A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 卜建輝;劉夢(mèng)新;劉剛;盧爍今;韓鄭生
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01T1/02
• 分類(lèi)號(hào): G01T1/02
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 周?chē)?guó)城

1.一種基于恒流源的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括：

主控計(jì)算機(jī)，用于運(yùn)行圖形監(jiān)控測(cè)試程序，向數(shù)據(jù)采集卡輸出控制信號(hào)，并接收數(shù)據(jù)采集卡返回的待測(cè)SOI?PMOS源端電壓測(cè)試結(jié)果，然后對(duì)該測(cè)試結(jié)果進(jìn)行計(jì)算得到劑量率并顯示；

數(shù)據(jù)采集卡，用于根據(jù)接收自主控計(jì)算機(jī)的控制信號(hào)執(zhí)行數(shù)據(jù)采集，通過(guò)測(cè)試開(kāi)發(fā)板的數(shù)據(jù)采集模塊采集DUT開(kāi)發(fā)板中待測(cè)SOI?PMOS的源端電壓并返回給主控計(jì)算機(jī)；

測(cè)試開(kāi)發(fā)板，用于產(chǎn)生30μA的恒定電流，然后將該30μA的恒定電流通過(guò)電纜線輸出給輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板，同時(shí)用于對(duì)DUT開(kāi)發(fā)板中待測(cè)SOI?PMOS的源端電壓進(jìn)行采集；以及

輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板，用于將接收的30μA的恒定電流施加至待測(cè)SOI?PMOS上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于恒流源的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述主控計(jì)算機(jī)內(nèi)部運(yùn)行一圖形監(jiān)控測(cè)試程序，該圖形監(jiān)控測(cè)試程序由一個(gè)While循環(huán)形成，由LABVIEW程序語(yǔ)言通過(guò)模塊化可視化的編程實(shí)現(xiàn)，用于控制數(shù)據(jù)的采集。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于恒流源的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)采集卡為6210USB數(shù)據(jù)采集卡，用于進(jìn)行模擬電壓采集以及波形編程輸出。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于恒流源的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)試開(kāi)發(fā)板包括恒流源模塊和數(shù)據(jù)采集模塊，恒流源模塊用于給DUT開(kāi)發(fā)板提供30μA的恒定電流，數(shù)據(jù)采集模塊用于從DUT開(kāi)發(fā)板中采集數(shù)據(jù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于恒流源的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述電纜線為35米長(zhǎng)2芯屏蔽電纜線，用于將接收自測(cè)試開(kāi)發(fā)板的30μA的恒定電流通過(guò)電纜線傳遞至輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于恒流源的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板內(nèi)部至少可插器件1個(gè)，通過(guò)2芯屏蔽電纜線與測(cè)試開(kāi)發(fā)板相連接，器件有2個(gè)引出端口。

7.一種基于恒流源的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試方法，其特征在于，該方法包括：

主控計(jì)算機(jī)運(yùn)行圖形監(jiān)控測(cè)試程序，向數(shù)據(jù)采集卡輸出控制信號(hào)；

數(shù)據(jù)采集卡根據(jù)接收的控制信號(hào)執(zhí)行數(shù)據(jù)采集，控制測(cè)試開(kāi)發(fā)板的數(shù)據(jù)采集模塊采集DUT開(kāi)發(fā)板中待測(cè)SOI?PMOS的源端電壓；

測(cè)試開(kāi)發(fā)板在數(shù)據(jù)采集卡的控制下采集DUT開(kāi)發(fā)板中待測(cè)SOIPMOS的源端電壓，并將采集的DUT開(kāi)發(fā)板中待測(cè)SOI?PMOS的源端電壓通過(guò)數(shù)據(jù)采集卡返回給數(shù)據(jù)采集卡；

數(shù)據(jù)采集卡將DUT開(kāi)發(fā)板中待測(cè)SOI?PMOS的源端電壓返回給主控計(jì)算機(jī)，主控計(jì)算機(jī)接收并顯示數(shù)據(jù)采集卡返回的的劑量率測(cè)試結(jié)果。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于恒流源的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試方法，其特征在于，所述主控計(jì)算機(jī)內(nèi)部運(yùn)行的圖形監(jiān)控測(cè)試程序由一個(gè)While循環(huán)形成，由LABVIEW程序語(yǔ)言通過(guò)模塊化可視化的編程實(shí)現(xiàn)，用于控制數(shù)據(jù)的采集。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于恒流源的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試方法，其特征在于，所述數(shù)據(jù)采集卡為6210USB數(shù)據(jù)采集卡，用于進(jìn)行模擬電壓采集以及波形編程輸出。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于恒流源的劑量率遠(yuǎn)程在線自動(dòng)測(cè)試方法，其特征在于，所述測(cè)試開(kāi)發(fā)板在上電后進(jìn)一步包括：測(cè)試開(kāi)發(fā)板在上電后產(chǎn)生30μA的恒定電流，然后將該30μA的恒定電流通過(guò)電纜線輸出給輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板，輻照源內(nèi)DUT開(kāi)發(fā)板將接收的30μA的恒定電流施加至待測(cè)SOI?PMOS上。