[發明專利]氣體CO2激光器的激光放電腔裝置

無效

• 申請號: 200910066898.1
• 申請日: 2009-05-05
• 公開（公告）號: CN101540467A
• 公開（公告）日: 2009-09-23
• 發明（設計）人: 耿玉民;郭勁
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: H01S3/03
• 分類號: H01S3/03
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所
• 代理人: 王立偉

1.一種氣體CO₂激光器的激光放電腔裝置，其特征在于由腔右側立板(01)、腔上支撐框板(02)、腔上絕緣框板(03)、腔上電極板(04)、上放電電極(05)、陶瓷絕緣片(06)、上預電離觸發針(07)、腔左側立板(08)、下放電電極(09)、氣體循環通道進氣口(10)、腔下電極板(11)、下預電離觸發針(12)、氣體循環通道出氣口(13)、腔前側端板(14)、腔后側端板(15)構成的激光放電腔裝置；各部分的位置和連接關系如下：所述的激光放電腔裝置為一矩形箱體結構，腔上電極板(04)上裝有上放電電極(05)，腔上絕緣框板(03)上裝有透過陶瓷絕緣片(06)的多個上預電離觸發針(07)，沿箱體長度方向由腔上支撐框板(02)、腔上絕緣框板(03)、腔上電極板(04)、上放電電極(05)、陶瓷絕緣片(06)、上預電離觸發針(07)連為一體構成上放電導電板；腔下電極板(11)上裝有下放電電極(09)和透過陶瓷絕緣片(06)的多個下預電離觸發針(12)；沿箱體長度方向由腔下電極板(11)、下放電電極(09)、陶瓷絕緣片(06)、下預電離觸發針(12)連為一體構成下放電導電板；腔右側立板(01)、腔左側立板(08)與腔前側端板(14)、腔后側端板(15)焊接后成為一框體；腔左、右側立板上開有用于氣體循環的多個氣體循環通道進氣口(10)和多個氣體循環通道出氣口(13)，使工作氣體通過風機在密閉循環通道中流動，腔前、后側端板上各開有一個圓孔用于激光器光學諧振腔進行光子諧振后的激光光束輸出通道；用螺栓將框體與上、下放電導電板緊固連接后構成高功率氣體CO₂激光器激光放電腔裝置；并使激光放電腔固定安裝在密閉循環流動的工作氣體通道中。

2.根據權利要求1所述的氣體CO₂激光器的激光放電腔裝置，其特征在于上放電電極(04)和下放電電極(09)均為條形，其位置是固定安裝在水平與垂直的中心線交叉點空間光軸0點的上、下等分處，條形電極表面均為曲形剖面，電極兩端均為圓弧形面，為使工作氣體在放電間隙通道中循環流動，主放電的放電間隙為30-40mm。

3.根據權利要求1所述的氣體CO₂激光器的激光放電腔裝置，其特征在于上預電離觸發針(07)和下預電離觸發針(12)為60對，其位置是固定安裝在放電電極兩側，且距離電極邊緣應大于1.5倍的放電間隙處；為使工作氣體在觸發針放電間隙和多對預電離觸發針通道中循環流動，每對預電離觸發針的放電間隙為6-10mm，并在水平與垂直的中心線交叉點空間光軸0點水平偏下位置。

4.根據權利要求1所述的氣體CO₂激光器的激光放電腔裝置，其特征在于陶瓷絕緣片(06)為斜面且表面光滑的矩形陶瓷體，為了防止高壓漏電和放電電場的爬弧，其位置是將多片矩形陶瓷體固定粘貼在上放電電極(05)、下放電電極(09)兩側和兩端處，以及上、下放電導電板的表面處。

5.根據權利要求1所述的氣體CO₂激光器的激光放電腔裝置，其特征在于為了使工作氣體在密閉的氣體循環流道中高速流通，腔左側立板(08)上開有多個100mm×100mm的矩形孔做為工作氣體循環通道進氣口(10)；腔右側立板(01)上開有多個100mm×100mm的矩形孔做為工作氣體循環通電出氣口(13)。

6.根據權利要求1所述的氣體CO₂激光器的激光放電腔裝置，其特征在于腔前側端板(14)、腔后側端板(15)上各開有一個100mm-120mm直徑的圓孔，其圓心位置在水平與垂直的中心線交叉點空間光軸0點的同軸處，作為激光光束輸出通道。