[發明專利]一種硅片碼片機

無效

• 申請號: 200910064693.X
• 申請日: 2009-04-21
• 公開（公告）號: CN101599421A
• 公開（公告）日: 2009-12-09
• 發明（設計）人: 張軍;張萬進;孟紅軍;倪永帥
• 申請（專利權）人: 新鄉市華盛天龍數控設備有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 新鄉市平原專利有限責任公司
• 代理人: 毋致善

1.一種硅片碼片機，其特征在于：在水箱一側的立板上設有斜置的導 軌，此導軌的下部插入水箱中，掛板的滑塊滑配在上述導軌的槽中，掛板 上端設置的絲母與立板上的滾珠絲杠相配，此滾珠絲杠由伺服馬達驅動， 掛板的下端設有放置硅片花籃的擋板，掛板上設有感應開關與擋板上的硅 片花籃最底層的格柵相對，在與掛板相對的水箱的另一端設有向水箱傾斜 的滑板，此滑板的前后兩側設有擋板，此二擋板的內側距離與硅片的寬度 相配，水管的兩端分別與滑板的槽和水箱連通，水管上設有水泵。

2.如權利要求1所述的一種硅片碼片機，其特征在于：滑板的后部均 布有豎向水孔。

3.如權利要求1所述的一種硅片碼片機，其特征在于：掛板上均布有 放置花籃的擋板。

4.如權利要求1所述的一種硅片碼片機，其特征在于：所述固定伺服 馬達、滾珠絲桿軸承座、導軌的一個立板孔為弧形孔，固定滑板的一個水 箱體上的孔為弧形孔。