[發明專利]激光誘導鐵電晶體疇反轉的檢測裝置

無效

• 申請號: 200910054362.8
• 申請日: 2009-07-03
• 公開（公告）號: CN101592604A
• 公開（公告）日: 2009-12-02
• 發明（設計）人: 侯培培;職亞楠;周煜;孫建鋒;劉立人
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01N21/45
• 分類號: G01N21/45;G01N21/01;G01N1/28
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1、一種激光誘導鐵電晶體疇反轉的檢測裝置，包括誘導光源(17)、氦氖激光器(12)、極化裝置和檢測裝置，其特征在于：

所述的極化裝置，由極化夾具和高壓直流電路組成，所述的極化夾具包括左電極夾具、右電極夾具、兩個O型圈(6)，所述的左電極夾具和右電極夾具是兩塊結構對稱的長方體有機玻璃制成的，所述的左電極夾具(5)的幾何中心有一個圓柱形通孔，該圓柱形通孔的左端由石英玻璃密封，構成石英玻璃窗(1)，該圓柱形通孔的右端帶有環形凹槽，該環形凹槽供所述的O型圈(6)嵌設，該圓柱形通孔的上方與注水槽(3)相通，所述的左電極夾具和右電極夾具的四角對應的設有螺栓通孔，通過螺栓(10)和O型圈(6)將待測的鐵電晶體樣品(4)置于并夾持在所述的左電極夾具和右電極夾具之間，使所述的注水槽(3)的開口朝上，在所述的石英玻璃窗(1)和樣品(4)之間形成電解液腔，通過所述的注水槽(3)向該電解液腔注入電解液，所述的高壓直流電路由高壓直流電源(7)、電阻調壓器(8)、微安表(9)、電線和兩只電極串聯組成，然后將所述的兩電極通過所述的注水槽(3)插入電解液腔中；

氦氖激光器(12)，沿該氦氖激光器(12)輸出激光前進方向依次是第一濾波器(13)、第一平行光管(14)和第一分光棱鏡(15)，所述的激光經第一分光棱鏡(15)分成透射光束和反射光束，反射光束作為探測光束，透射光束作為參考光束，該探測光束經第一凸透鏡(16)聚焦在第二分光棱鏡(20)的幾何光學中心上，反射后再經過第二凸透鏡(21)、所述的極化夾具的左石英窗、沿晶體樣品(4)、右石英窗形成物光波，該物光波經濾波片(22)、第三凸透鏡(23)聚焦在第三分光棱鏡(26)幾何光學中心；

所述的參考光束經全反鏡(24)反射后，再經第四凸透鏡(25)聚焦在所述的第三分光棱鏡(26)幾何光學中心，與聚焦在此處的物光波耦合，在CCD(27)的攝像面產生干涉；

所述的誘導光源(17)發出的誘導光依次經過第二濾波器(18)、第二平行光管(19)、第二分光棱鏡(20)透射后與所述的探測光束同軸，再經第二凸透鏡(21)聚焦，正入射并聚焦在所述的鐵電晶體樣品(4)的表面，透過的誘導光由所述的濾波片(22)吸收。

2、根據權利要求1所述的激光誘導鐵電晶體疇反轉的檢測裝置，其特征在于所述的誘導光源(17)為氪離子激光器、或氬離子激光器輸出的紫外至紅外波段內的連續激光，或超短脈沖激光。