[發(fā)明專利]化學(xué)氣相沉積制備摻硼導(dǎo)電金剛石薄膜方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910045950.5
• 申請(qǐng)日: 2009-01-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101476113A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-07-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫方宏;張志明;沈荷生;郭松壽
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海交通大學(xué);上海交友鉆石涂層有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/22
• 分類號(hào): C23C16/22
• 代理公司: 上海交達(dá)專利事務(wù)所
• 代理人: 王錫麟;王桂忠

1.一種化學(xué)氣相沉積制備摻硼導(dǎo)電金剛石薄膜方法，其特征在于，將硼酸三甲酯按預(yù)定的B/C比溶解于丙酮，并放置于始終保持0℃的鼓泡瓶中，以控制碳源和硼源的流量，部分氫氣流量作為載氣，用鼓泡法將液體蒸氣帶出，具體包括如下步驟：

第一步，將流量計(jì)和針型閥放置在鼓泡瓶的前方，在鼓泡瓶前面增設(shè)一個(gè)保護(hù)泡；

第二步，將硼酸三甲酯按設(shè)定比例溶于丙酮中，該溶液置于密封的鼓泡瓶中，鼓泡瓶保持0℃，放置在冰水混合液中；

第三步，將H₂分成兩路，其中一路經(jīng)過(guò)流量控制系統(tǒng)后，與丙酮和硼酸三甲酯蒸汽會(huì)合，直接進(jìn)入反應(yīng)室，另一路經(jīng)過(guò)流量計(jì)、針型閥和保護(hù)瓶后，作為載氣流入鼓泡瓶的底部，鼓動(dòng)丙酮溶液冒泡逸出；

第四步，H₂鼓泡帶動(dòng)了丙酮溶液的揮發(fā)，硼酸三甲酯溶于丙酮形成了丙酮和硼酸三甲酯蒸汽，經(jīng)隔離閥，與另一路H₂匯合，進(jìn)入反應(yīng)室，實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜摻硼；

所述將硼酸三甲酯按設(shè)定比例溶于丙酮中，該比例確定了薄膜中硼碳原子比；

所述的流量控制系統(tǒng)采用質(zhì)量流量計(jì)或浮子式流量計(jì)。