[發明專利]多功能磁控濺射連續鍍膜機

有效

• 申請號: 200910031377.2
• 申請日: 2009-04-30
• 公開（公告）號: CN101550542A
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 郭廷瑋;夏建業
• 申請（專利權）人: 常州博士新能源科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 常州市天龍專利事務所有限公司
• 代理人: 夏海初

技術領域

本發明涉及一種多功能磁控濺射連續鍍膜機，具體涉及一種主要用于類似太陽能熱發電系統的集熱管金屬內管表面鍍膜的鍍膜機，屬于磁控濺射鍍裝設備技術。

背景技術

諸如由本申請人申請的申請號為200910030111.6槽式太陽能熱發電系統集熱管的金屬內管表面，鍍布有摻鉬三氧化二鋁鍍層(業內稱之為金屬陶瓷層)。所述金屬陶瓷鍍層，是由若干層納米級厚度的鉬膜層，和三氧化二鋁膜層相互交錯鍍布復合所構成。通過相鄰鉬膜層和三氧化二鋁膜層界面的相互滲透，構成所述摻鉬三氧化二鋁金屬陶瓷鍍層，用以有效提高太陽能吸收率和降低紅外光發射率，實現存在于金屬內管內的工質導熱油溫度達到≥350℃的目的。

已有的磁控濺射鍍膜機，由于結構性不足，而不能支持類似于上述金屬內管表面鍍層的連續鍍膜生產。因此，提供一種能夠支持類似于上述金屬內管表面鍍層的連續鍍膜設備，便成為業內的期盼。

發明內容

本發明旨在提供一種結構合理，生產效率高，能夠鍍布一層、二層和二層以上不同物質鍍膜的多層復合鍍層的多功能磁控濺射連續鍍膜機，以滿足業內生產集熱管尤其是生產太陽能熱發電系統所用集熱管的裝備需求。

本發明實現其目的的技術構想主要有以下四個方面：一是提供一種多室、多靶的箱體結構，為滿足一層、二層和若干層不同物質膜層的鍍膜提供支持；二是提供一種可在箱體內前后往復運動的工件金屬管承載車的結構，以滿足至少各有一層不同物質膜層復合鍍布的要求；同時對需要由若干層不同物質膜層相互交錯鍍布構成多層復合鍍層，提供支持；三是在相鄰鍍膜室、處理室之間，提供一種能夠適時開閉的密封門結構，為不同作用的鍍膜室和處理室所保持的工藝條件，提供支持；四是提供一種電氣控制裝置，為連續高效生產提供支持。通過由以上所述四個主要結構組合的本發明，既能鍍布一層鍍膜的鍍層；又能鍍布二種不同物質的鍍膜的復合鍍層；也能鍍布二種以上不同物質的鍍膜且相互交錯的多層復合結構的鍍層，從而實現本發明的目的。

基于上述技術構想，本發明實現其目的的技術方案是：

一種多功能磁控濺射連續鍍膜機，包括箱體，工件承載車，工件承載車的供電裝置，濺射靶，抽真空和通氣裝置，電氣控制裝置和總控制器，其創新點在于：

a、所述箱體，由在前過渡真空處理室，第一鍍膜室，第二鍍膜室和在后過渡真空處理室依次串聯組成一整體，且所述各室依次相互貫通；在前過渡真空處理室的入口處和在后過渡真空處理室的出口處，及其所述各室相鄰接處，均設有由開閉啟動機構驅動開閉的密閉門；

b、所述工件承載車，可在所述箱體內前后往復運動，它包括車架，設在車架底部由包括第一電機在內的傳動裝置傳動的具有4個行走輪和2根行走輪軸的行走機構，分別與車架左、右兩側連接的工件安放架，與工件安放架連接的且沿工件安放架上下布置的若干個由工件承插構件和工件定位構件對稱布置組成且可分別與工件兩端裝接的工件裝接副，和由第二電機通過工件承插構件的傳動件驅動工件裝接副旋轉的傳動裝置；

c、所述工件承載車的供電裝置，包括與總控制器電連接，且與箱體底部連接的第一導軌和第二導軌；所述第一導軌和第二導軌，分別與工件承載車的行走機構兩側的行走輪相對應布置；所述行走機構的4個行走輪，分別通過絕緣軸套，與與車架固定連接的行走輪軸轉動連接，處于車架兩側的2個行走輪中的1個行走輪，分別與2個電刷構件電連接，電刷構件分別通過倒順控制開關和控制開關，與第一電機和第二電機電連接；

d、所述濺射靶，是至少2組每組2個濺射靶；所述至少2組每組2個濺射靶，同樣設在第一鍍膜室和第二鍍膜室內；每1組的2個濺射靶，分別對稱布置在第一導軌和第二導軌的外側部位，且分開布置并與箱體底壁連接；濺射靶的工作用電，由總控制器提供；也即是濺射靶與總控制器電連接；

e、所述抽真空和通氣裝置的第一真空泵，與在前過渡真空處理室管路連接，第二真空泵與第一鍍膜室管路連接；第三真空泵與第二鍍膜室管路連接，第四真空泵與在后過渡真空處理室管路連接；第一通氣管與第一鍍膜室管路連接，第二通氣管與第二鍍膜室管路連接，第三通氣管與在后過渡真空處理室管路連接，第四通氣管與在前過渡真空處理室管路連接；