[發明專利]半導體器件測試分選機的旋轉工作臺

無效

• 申請號: 200910025717.0
• 申請日: 2009-03-06
• 公開（公告）號: CN101504295A
• 公開（公告）日: 2009-08-12
• 發明（設計）人: 貢瑞龍;陸軍;梁天貴
• 申請（專利權）人: 江都市東元機電設備有限公司
• 主分類號: G01D11/00
• 分類號: G01D11/00;B07C5/00
• 代理公司: 揚州市錦江專利事務所
• 代理人: 江 平

技術領域

本發明涉及一種半導體器件測試分選的裝置，特別涉及半導體器件測試分選機的旋轉工作臺。

背景技術

現有技術中，有一種半導體器件測試分選機，其上有一個旋轉工作臺，該旋轉工作臺包括水平設置的轉臺，轉臺上表面水平，轉臺下側中心設有轉軸，轉軸與一電機的軸端傳動連接，轉軸上套裝有一進氣座，進氣座下側設有彈性抵觸在轉臺下端面上的進氣座，進氣座側面設有至少一個吸嘴，轉臺四周分布有若干可容納半導體器件的大孔，大孔下側同軸設有上下貫穿轉臺的小孔，進氣座上設有若干接通吸嘴并與小孔一一對應的氣道，一側大孔的正上方設有激光頭，另一側大孔的正上方設有圖像攝像頭。該裝置工作時，通過吸嘴吸氣，可以將半導體器件吸附在大孔內，電機轉動時，可使得半導體器件一一依次經過激光頭和圖像攝像頭的正下方，以便對半導體器件進行檢測；其不足之處在于：由于激光頭和圖像攝像頭尺寸較大，需要占據一定的空間，為避免兩者之間相互干涉，轉臺的尺寸必須做得足夠大，使得轉臺的體積大，相應電機的功率也大，造成了成本上升。

發明內容

本發明的目的是提供一種半導體器件測試分選機的旋轉工作臺，使得轉臺尺寸小，電機功率小，制造成本大幅降低。

本發明的目的是這樣實現的：半導體器件測試分選機的旋轉工作臺，包括水平設置的轉臺，轉臺下側中心設有轉軸，轉軸與一電機的軸端傳動連接，轉軸上套裝有一進氣座，進氣座下側設有彈性抵觸在轉臺下端面上的進氣座，進氣座側面設有至少一個吸嘴，轉臺四周分布有若干可容納半導體器件的大孔，大孔下側設有上下貫穿轉臺的小孔，進氣座上設有若干接通吸嘴并與小孔一一對應的氣道；所述轉臺上側周向呈上小下大的錐面，大孔軸線與所述錐面的軸線相交，同時，大孔軸線垂直于與其所相交的錐面的母線。

為便于小孔的加工，所述小孔軸線與轉臺的轉軸平行設置。

本發明使用時，將激光頭和圖像攝像頭設置在大孔的軸線方向上，由于大孔設置在錐面上，使得激光頭和圖像攝像頭布置在轉臺側上方，可讓出轉臺正上方的空間，激光頭和圖像攝像頭的布置不會發生干涉問題，這樣，轉臺的尺寸就可以做得足夠小，相應地，電機的功率、尺寸也比較小，可大幅節約生產成本。該裝置可用于半導體器件的檢測和分選。

附圖說明

圖1為本發明結構示意圖。

其中，1電機，2轉軸，3機身，4彈簧，5吸嘴，6氣道，7小孔，8大孔，9轉臺，10錐面，11進氣座。

具體實施方式

如圖，半導體器件測試分選機的旋轉工作臺，包括水平設置的轉臺9，轉臺9下側中心設有轉軸2，轉軸2與一電機1的軸端傳動連接，轉軸2上套裝有一進氣座11，電機1安裝在機身3上，在機身3和進氣座11之間設置彈簧4，即可實現彈性連接；進氣座11側面設有至少一個吸嘴5，轉臺9四周分布有若干可容納半導體器件的大孔8，大孔8下側設有上下貫穿轉臺9的小孔7，進氣座11上設有若干接通吸嘴5并與小孔7一一對應的氣道6；轉臺9上側周向呈上小下大的錐面10，大孔8的軸線與所述錐面10的軸線相交，同時，大孔8的軸線垂直于與其所相交的錐面的母線，小孔7的軸線與轉臺9的轉軸2平行設置。

本發明使用時，將激光頭和圖像攝像頭設置在大孔8的軸線方向上，由于大孔8設置在錐面10上，使得激光頭和圖像攝像頭布置在轉臺9側上方，可讓出轉臺9正上方的空間，激光頭和圖像攝像頭的布置不會發生干涉問題，這樣，轉臺9的尺寸就可以做得足夠小，相應地，電機1的功率、尺寸也比較小，可大幅節約生產成本。