[發明專利]一種鋼領真空離子鍍膜制備方法有效
| 申請號： | 200910022205.9 | 申請日： | 2009-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN101876060A | 公開（公告）日： | 2010-11-03 |
| 發明（設計）人： | 李林;陳致平 | 申請（專利權）人： | 咸陽恒信紡機器材有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/30 | 分類號： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 712000 陜西省*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 鋼領 真空 離子 鍍膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種真空離子鍍膜鋼領制備方法，它是將鋼領件進行清洗、除油、除銹和烘于后備用，其特征是：制備鋼領鍍膜的方法和步驟依次是：
(一)鋼領件進爐預熱處理：預熱溫度120～140℃，時間40～60分鐘；
(二)鋼領件環境抽真空處理：將鋼領件置于抽真空環境中，真空度2×10-2～6×10-3帕。
(三)鋼領電子轟出凈化處理：采用鈦靶、鋁靶輪流轟擊。
(四)鋼領件沉積涂層處理：用鈦Ti打底10min，3×10-1帕，偏壓300V；鍍鋁TiAIN，45min，5×10-1帕，偏壓200V；通氮氣，C2H2氣。
(五)鋼領件降溫處理：采用氮氣降溫，降至100℃以下出爐。
(六)取出鋼領件。
2.根據權利要求1所述的一種真空離子鍍膜鋼領制備方法，其特征是：鋼領鍍膜的制備方法和步驟依次是：
(一)鋼領件進爐預熱處理：預熱溫度120℃、時間40分鐘；
(二)鋼領件環境抽真空處理：將鋼領件置于抽真空環境中，真空度6×10-3帕。
(三)鋼領電子轟出凈化處理：采用鈦靶、鋁靶輪流轟擊。
(四)鋼領件沉積涂層處理：用鈦Ti打底10min，3×10-1帕，偏壓300V；鍍鋁TiAIN，45min，5×10-1帕，偏壓200V；通氮氣，C2H2氣。
(五)鋼領件降溫處理：采用氮氣降溫，降至100℃以下出爐。
(六)取出鋼領件。
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