[發明專利]基板處理裝置

有效

• 申請號: 200910007769.5
• 申請日: 2009-02-24
• 公開（公告）號: CN101521148A
• 公開（公告）日: 2009-09-02
• 發明（設計）人: 澀川潤;清川信治;光吉一郎
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/02;H01L21/304;B08B1/00;B08B1/04
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 徐 恕;馬少東

技術領域

本發明涉及一種用刷對基板進行清洗處理的基板處理裝置。成為處理對象的基板包括例如半導體晶片、液晶顯示裝置用基板、等離子顯示器用基板、FED(Filed?Emission?Display：場致發射顯示器)用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、光掩模用基板等。

背景技術

半導體裝置或液晶顯示裝置等的制造工序中使用的基板處理裝置所具有的單張式的處理單元例如具有：旋轉卡盤，其將基板保持為近似水平并使基板旋轉；噴嘴，其用于向保持在該旋轉卡盤上的基板供給處理液。用于擦洗基板的處理單元還具有刷，所述刷用于擦洗保持于所述旋轉卡盤上的基板。例如參照JP特開2001-9388號公報。

刷被保持在保持臂上，所述保持臂能夠將該刷按壓在基板上。保持臂上連接有刷移動機構，所述刷移動機構能夠通過移動該保持臂，使刷接觸基板或從基板離開，或者在使刷抵接于基板的狀態下使該刷沿該基板移動。

在對基板上表面進行擦洗時，例如能夠一邊通過旋轉卡盤使基板在水平面內旋轉，一邊從噴嘴向該基板上表面供給處理液。進而，在通過保持臂將刷按壓在基板上表面的狀態下，通過所述刷移動機構能夠使該刷沿著該基板的上表面移動。

保持臂例如具有殼體、下端從該殼體下表面突出的軸(shaft)以及在所述殼體內設置在軸上方的按壓刷用的驅動器(acuator)。

在刷與保持于旋轉卡盤的基板抵接或者接近的狀態下，負載通過所述驅動器施加給軸。由此，安裝在軸下端的刷被按壓在基板表面。

在以往的裝置中，因為按壓刷用的驅動器配置在軸上方，所以保持臂上下方向的高度變大。因此，裝載有該保持臂的處理單元的上下方向的高度變大。

另一方面，在基板處理裝置具有多個處理單元的情況下，出于抑制其占有面積(占用面積：footprint)的目的，有時將處理單元在上下方向上層疊配置。若在這樣結構的基板處理裝置中使用具有上述這樣的保持臂的處理單元，則整個基板處理裝置的鉛垂方向的高度變大。由此，存在如下問題，即，在無塵室的天花板高度范圍內難以進行設計，即使這樣的設計得以實現，也難以維護。

發明內容

本發明的目的在于提供一種降低高度且能夠用刷清洗基板的基板處理裝置。

本發明的基板處理裝置包括：刷，其用于清洗基板；蹺板構件，其能夠以支撐構件為支點進行擺動，相對所述支點在一側具有力點部，相對所述支點在另一側具有作用點部；按壓用驅動器，其向所述蹺板構件的力點部施加驅動力，使該蹺板構件以所述支點為中心進行擺動，從而向該蹺板構件施加用于將所述刷按壓于基板的按壓力；傳遞構件，其具有被作用點部，所述被作用點部從所述蹺板構件的所述作用點部接受施加給所述蹺板構件的所述力點部的驅動力，并向所述刷傳遞用于將所述刷按壓于基板的按壓力。

根據本發明，通過設置蹺板構件能夠提高按壓用驅動器配置的自由度。即，只要從按壓用驅動器向蹺板構件的力點部施加用于將刷按壓在基板W上的按壓力即可，按壓用驅動器可以配置在蹺板構件的上方，也可以配置在蹺板構件的下方，還可以設置在蹺板構件的側方。因此，能夠通過適當地配置按壓用驅動器來降低基板處理裝置的高度。

在本發明中，將作為所述按壓力的按壓用驅動器的驅動力施加給蹺板構件，并且，經由傳遞構件將該驅動力從蹺板構件傳遞給刷，從而將刷按壓在基板上。

即，通過按壓用驅動器向蹺板構件的力點部施加驅動力，從而能夠以支撐構件為支點使該蹺板構件擺動。并且，若通過按壓用驅動器使蹺板構件擺動，則按壓用驅動器的驅動力從蹺板構件的作用點部傳遞給傳遞構件，進而從傳遞構件傳遞給刷。由此，能夠將刷按壓在基板上。

這樣，能夠抑制基板處理裝置整體高度，并通過刷對基板實施清洗處理。

在本發明的一實施方式中，所述蹺板構件支撐在所述支撐構件上并能夠?沿鉛垂面擺動，配置所述驅動器以使從所述蹺板構件的所述力點部的下方施加驅動力，所述傳遞構件包括軸，所述軸向所述蹺板構件的所述作用點部的下方延伸，在軸的下端部結合有所述刷。

根據該結構，在蹺板構件下方配置按壓用驅動器。即，通過在蹺板構件的下方配置按壓用驅動器，能夠降低基板處理裝置在鉛垂方向的高度。

按壓用驅動器從蹺板構件的力點部的下方向該力點部施加驅動力，從而能夠使該蹺板構件沿鉛垂面擺動。蹺板構件通過該擺動，能夠將所述驅動力從作用點部傳遞給傳遞構件。由此，經由軸將所述驅動力傳遞給刷，并將該刷按壓在基板上。