[發明專利]涂敷裝置

有效

• 申請號: 200910006827.2
• 申請日: 2009-02-27
• 公開（公告）號: CN101518769A
• 公開（公告）日: 2009-09-02
• 發明（設計）人: 釜谷學;森俊裕
• 申請（專利權）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/00;B05C13/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 李貴亮

1.一種涂敷裝置，其具備：

載物臺，其載置基板；

基板保持機構，其使形成于所述載物臺的表面的吸引孔產生吸引力而 將基板吸附并保持于所述載物臺的表面；

涂敷組件，其相對于保持在所述載物臺的表面的基板相對地移動，同 時噴出涂敷液，

所述涂敷裝置的特征在于，

所述基板保持機構的吸引孔通過配管與產生吸引力的吸引力產生裝 置相連通地連接，

所述配管具備能夠利用主閥開閉的主配管和能夠利用副閥開閉的副 配管，

在所述副配管設有儲存箱，該儲存箱在比所述副閥靠近吸引力產生裝 置一側具備具有規定容量的儲存部，且該儲存部具有比一定區間內的副配 管的容量大的容量，即，所述儲存部的容量比從所述副閥至所述吸引孔的 配管的容量的總和大。

2.根據權利要求1的涂敷裝置，其特征在于，

在所述副配管設置有輔助配管，該輔助配管繞過所述儲存箱而與吸引 側副配管和閥側副配管相連通地連接，其中，所述吸引側副配管在吸引力 產生裝置側連接于所述儲存箱，所述閥側副配管在副閥側連接于所述儲存 箱。

3.根據權利要求2所述的涂敷裝置，其特征在于，

具備對所述主閥及副閥的開閉動作進行控制的控制裝置，該控制裝置 在主閥及副閥處于關閉狀態下使吸引力產生裝置工作，由此使所述儲存箱 的儲存部維持在比大氣壓小的壓力，在基板載置于載物臺的表面之后，使 主閥和副閥處于打開狀態，由此將基板吸附在載物臺表面。

4.根據權利要求3所述的涂敷裝置，其特征在于，

所述控制裝置使主閥和副閥處于打開狀態而將基板吸附于載物臺表 面之后，在吸引孔的壓力達到規定壓力的情況下，使副閥處于關閉狀態， 以比所述規定的壓力大且比大氣壓小的壓力來維持基板保持在載物臺的 表面上的狀態。