[發明專利]介電層拋光液無效
| 申請號： | 200910001030.3 | 申請日： | 2009-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN101781522A | 公開（公告）日： | 2010-07-21 |
| 發明（設計）人： | 閔學勇;邢振林 | 申請（專利權）人： | 昆山市百益電子科技材料有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 介電層 拋光 | ||
【權利要求書】：
1.一種介電層拋光液，其特征在于拋光液的組分及重量百份比如下：二氧化硅磨料2-50；PH調節劑0.2-10；螯合劑0.1-5；銨鹽0.1-5；表面活性劑0.01-5；余量為去離子水。
2.根據權利要求1所述的一種介電層拋光液，其特征在于，PH調節劑為堿性有機胺，如三乙胺和二異丁基胺中至少一種。
3.根據權利要求1所述的一種介電層拋光液，其特征在于，螯合劑為乙二胺四乙酸和檸檬酸及其鹽中的至少一種。
4.根據權利要求1所述的一種介電層拋光液，其特征在于，表面活性劑為醇醚類非離子類表面活性劑，如OP-10和TX-10中的至少一種。
5.根據權利要求1所述的一種介電層拋光液，其特征在于，銨鹽為硝酸銨、硫酸銨中至少一種。
6.根據權利要求2所述的一種介電層拋光液，其特征在于，所述拋光液的PH值范圍為10-11，粒徑范圍為40-60nm。
7.根據權利要求2所述的一種介電層拋光液，其特征在于，所述拋光液的Na離子含量范圍＜0.07％。
8.根據權利要求3所述的一種介電層拋光液，其特征在于，所述拋光液對于介電層拋光速率為0.1-0.2um/min。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于昆山市百益電子科技材料有限公司，未經昆山市百益電子科技材料有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200910001030.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種MPEG視頻文件的丟包檢測方法
- 下一篇：高柔感環保彈性漆及其制備方法
