[發明專利]一種慢波結構制造的工藝方法

無效

• 申請號: 200910000743.8
• 申請日: 2009-01-09
• 公開（公告）號: CN101459020A
• 公開（公告）日: 2009-06-17
• 發明（設計）人: 吳華夏;方衛;鄧清東;侯信磊;趙艷珩;李榮;任振國;盧希躍
• 申請（專利權）人: 安徽華東光電技術研究所
• 主分類號: H01J9/00
• 分類號: H01J9/00
• 代理公司: 信息產業部電子專利中心
• 代理人: 李勤媛

技術領域

本發明屬于真空電子器件領域，特別涉及一種慢波結構制造的工藝方法。?

背景技術

對于大功率行波管的慢波結構，用得較多的是采用耦合腔慢波結構形式，而休斯型慢波結構在耦合腔行波管中應用較多。休斯型慢波結構的示意圖由圖1所示。?

和毫米波波段的器件相比，厘米波波段的行波管，由于電子束半徑較大，所需要的聚束磁場較弱，所以耦合腔的外圍尺寸可以做的相對較大。從制造工藝來看，這樣做既可以使慢波結構的釬焊更容易，慢波結構更牢固，而且也可以較容易地實現磁場對電子注的聚焦；而毫米波波段的行波管，由于電子束半徑較小，需要的聚束磁場很大，所以耦合腔的外圍尺寸必須做小。這樣給慢波結構的裝配和釬焊帶來很大的困難：首先由于外圍尺寸變小，零件的機械牢固性降低，零件容易產生變形，給慢波結構的裝配帶來較大困難；其次由于外圍尺寸變小，焊料融化后會輕易流到慢波結構內部，改變了慢波結構的尺寸；第三，由于零件整體尺寸變小，使得釬焊后的慢波結構的整體機械牢固性變差，容易漏氣和發生變形。雖然采用強化的彌散無氧銅后對慢波結構整體強度情況有所改善，但效果不甚明顯，且制造成本大大提高，因此，必須從制造工藝角度尋找解決辦法。?

發明內容

本發明需要解決的技術問題是，針對大功率行波管慢波結構的機械強度下降，對中裝配帶來一定困難的情況下，如何改進結構關系，在不影響慢波結構內部尺寸的情況下，加強慢波結構的機械強度，如何在零件尺寸小的情況下，裝配出機械牢固且氣密性良好的慢波結構。?

本發明的方法基于以下理解：由于毫米波慢波系統的零件尺寸小，釬焊后，易影響慢波系統的尺寸精度，從而影響整個慢波系統的各項參數。而且由于零件的尺寸小，真空氣密性很難保證。所以為了使釬焊后系統的尺寸不受影響，保證系統的氣密性和機械牢固性，可以在慢波系統的外部加一層真空氣密性和機械牢固性好的外殼。本發明是依靠以下技術方案來實現的，一種休斯型耦合腔式慢波結構制造的工藝方法，包括慢波結構的零件檢驗、清洗、裝配和釬焊，其特征在于，裝配和釬焊過程按以下步驟操作：?

1.將慢波結構的零件，用真空蒸發的方式進行表面鍍銀，鍍銀的厚度控制在1微米范圍內；?

2.進行慢波結構的對中裝配；?

3.在氫爐內850℃溫度下進行焊接；?

4.在焊好的慢波結構外套上金屬管殼，該金屬管殼的內徑尺寸和慢波結構外徑尺寸相配合以保證慢波結構的真空氣密性和機械牢固性。?

采用這種方式焊接和裝配，不但可以實現焊接后慢波的尺寸不受影響，而且零件表面鍍銀還可以增加零件表面的電導率，減小微波損耗。為了保證慢波結構的真空氣密性和機械牢固性，在慢波結構的外面加管殼。管殼采用旋壓的方法進行加工，既可保證真空氣密性、機械牢固性，且殼壁薄，不影響強聚焦磁場的實現。管殼的材料可選用鎳銅合金。所述慢波結構外套金屬管殼的內徑尺寸要和慢波結構外徑尺寸相配合。?

采用管殼封裝的慢波結構，整體對中性能好，真空氣密性高，機械牢固性強；節約成本，降低裝配難度，提高合格率。?

附圖說明

圖1a為休斯型慢波結構的示意圖的正視圖；?

圖1b為休斯型慢波結構的示意圖的側視圖；?

圖2為慢波結構焊接示意圖；?

圖3為慢波結構套入管殼裝配示意圖；?

圖4為慢波結構制造工藝流程圖。?

具體實施方式

參照圖1a、圖1b，表示傳統休斯型慢波結構示意圖的正視圖和側視圖。它是應用于大功率行波管的耦合腔式慢波結構，參照圖2、圖3，表示在大功率行波管中使用的慢波結構的裝配和焊接示意圖，圖中1表示慢波結構中耦合腔的上、下腔板，它與腔側壁2依次相疊，周期性組成連續的慢波結構，腔板上面開有耦合孔3，用于微波功率耦合，相鄰耦合孔的位置是交錯排列的，4為外套管殼，用于增加整體慢波結構的強度和密封性能。參照圖4，表示慢波結構制造過程中的工藝流程圖。?