[發明專利]用于圖像傳感器的光導陣列

有效

• 申請號: 200880123359.0
• 申請日: 2008-12-22
• 公開（公告）號: CN101971339A
• 公開（公告）日: 2011-02-09
• 發明（設計）人: 鄭蒼隆;坦-特龍多
• 申請（專利權）人: 鄭蒼隆;坎德拉微系統(S)私人有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 王小衡;王洪斌

1.一種圖像傳感器像素，其包含：

一襯底；

一光電轉換單元，其由該襯底支撐；

一保護膜，其在該襯底上方延伸且跨越該襯底；以及

一串聯式光導，其中該串聯式光導的一第一部分位于該保護膜與該襯底之間而該串聯式光導的一第二部分則在該保護膜上方延伸。

2.根據權利要求1所述的像素，其中每一個串聯式光導包含一透明部分與一彩色濾光片，該彩色濾光片相鄰于該透明部分且在該絕緣體上方延伸。

3.根據權利要求1所述的像素，其中該第二部分包含一彩色濾光片。

4.根據權利要求3所述的像素，其中相鄰像素的串聯式光導的彩色濾光片由寬度不超過0.45um的一第一間隙隔開。

5.根據權利要求4所述的像素，其中該第一間隙的深度為該間隙中的光的波長的至少1.0倍。

6.根據權利要求5所述的像素，其中該光的波長為450nm。

7.根據權利要求3所述的像素，其中該彩色濾光片自動對準該串聯式光導。

8.根據權利要求3所述的像素，其中該彩色濾光片的頂表面為一空氣界面。

9.(空置)

10.根據權利要求1所述的像素，其中沿著該串聯式光導的垂直軸和于該保護膜上方的所有光學界面為平面且平行。

11.(空置)

12.根據權利要求1所述的像素，其中兩個不同像素中至少有兩個串聯式光導具有不同的剖面輪廓。

13.根據權利要求1所述的像素，其中第一部分的垂直中線和第二部分的垂直中線彼此偏離。

14.根據權利要求13所述的像素，其中該串聯式光導經配置以使得光離開且再進入該串聯式光導。

15.一種制造一圖像傳感器像素的方法，其包含：

形成一支撐膜，其具有一開口且位于一襯底上方，該襯底支撐一光電轉換單元；以及

在該支撐膜的開口中形成一彩色濾光片。

16.根據權利要求15所述的方法，其進一步包含在該彩色濾光片與該襯底之間形成一保護膜。

17.根據權利要求15所述的方法，其進一步包含移除在兩個相鄰彩色濾光片之間的至少一部分支撐膜。

18.根據權利要求15所述的方法，其進一步包含在該支撐膜的開口中形成一透明光導。

19.根據權利要求18所述的方法，其進一步包含移除在該透明光導鄰近處的一部分支撐膜。

20.根據權利要求18所述的方法，其進一步包含在該透明光導與該襯底之間形成一下方透明光導。

21.根據權利要求20所述的方法，其中該下方透明光導的垂直中線偏離該支撐膜的開口的垂直中線。

22.根據權利要求18所述的方法，其中形成該彩色濾光片的步驟在該彩色濾光片的頂表面上產生一平面的空氣界面。

23.一種制造一圖像傳感器像素陣列的方法，其包含：

在一支撐一光電轉換單元的襯底上方形成一絕緣體；

在該絕緣體鄰近處形成多個壁部；

在該等壁部之間形成多個光導；

在該等光導鄰近處形成多個彩色濾光片；以及

移除該等壁部之至少一部分以在相鄰彩色濾光片之間形成間隙。

24.根據權利要求23所述的方法，其中通過形成一支撐膜且在該支撐膜內產生多個開口而形成該等壁部。

25.根據權利要求23所述的方法，其進一步包含在該絕緣體上方形成一保護膜。

26.根據權利要求24所述的方法，其中移除該支撐膜的一部分，使得每一個光導的一部分具有一空氣界面。

27.一種圖像傳感器像素，其包含：

一襯底；

一光電轉換單元，其由該襯底支撐；

一光導，其耦合到該光電轉換單元；

抗反射構件，其用以降低在該光導與該光電轉換單元之間的反射。