[發明專利]具有改進的選擇性的氣體傳感器有效
| 申請號： | 200880120821.1 | 申請日： | 2008-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN101939639A | 公開（公告）日： | 2011-01-05 |
| 發明（設計）人： | 安德烈亞斯·赫爾維希;格哈特·米勒;揚·施潘哈克 | 申請（專利權）人： | 歐洲宇航防務集團德國有限責任公司 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所 31210 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 德國奧*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 改進 選擇性 氣體 傳感器 | ||
1.一種用于檢測氣體的氣體傳感器(1)，具有至少一個被施加到襯底(2)上的氣體敏感層，而且在所述襯底(2)上設置至少一個用于與所述層接觸連接的導電帶(3)，其特征在于，所述導電帶(3)包含具有非催化特性的摻雜金屬氧化物材料，以避免所述導電帶(3)對所述氣體的檢測的影響。
2.如權利要求1所述的氣體傳感器(1)，其特征在于，所述摻雜金屬氧化物材料為摻雜銻的氧化錫(SnO2:Sb)。
3.如權利要求1或2所述的氣體傳感器(1)，其特征在于，所述氣體傳感器(1)的所述襯底(2)被加熱，以使被施加在所述襯底上的用于檢測所述氣體的所述氣體敏感層在100℃到1100℃的溫度下工作，優選地在200℃到700℃的溫度下工作，并且特別優選地在300℃到450℃的溫度下工作。
4.如權利要求1-3中任意一項所述的氣體傳感器(1)，其特征在于，根據電阻測量方法的類型，用于檢測氣體的所述氣體敏感層的工作被實例化，其中所述氣體敏感層的電阻在氣體的影響下表現出改變，借此可以確定一種氣體或多種氣體的類型和/或存在的定性的和/或定量的信息。
5.如權利要求1-4中任意一項所述的氣體傳感器(1)，其特征在于，所述氧化錫(SnO2)摻雜有5wt％的銻(Sb)。
6.如權利要求1-5中任意一項所述的氣體傳感器(1)，其特征在于，所述導電帶(3)通過剝離方法被施加到所述襯底(2)上。
7.如權利要求1-6中任意一項所述的氣體傳感器(1)，其特征在于，所述氣體敏感層的成分是摻雜有催化劑Pt、Au、Ag和/或Pd的InFe、MoWo或者InSnO。
8.如權利要求1-7中任意一項所述的氣體傳感器(1)，其特征在于，在所述襯底上的所述氣體敏感層具有大約80nm到500nm的厚度，優選是100nm。
9.如權利要求1-8中任意一項所述的氣體傳感器(1)，其特征在于，所述襯底(2)被實例化為微機械組件，以根據芯片實驗室傳感器的類型實例化所述氣體傳感器(1)。
10.如權利要求1-9中任意一項所述的氣體傳感器(1)，其特征在于，所述氣體敏感層被實例化為用于測量NO2和/或H2，其中在不同溫度下進行NO2和/或H2的測量。
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