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[發明專利]用于光學位置測量裝置的檢測元件陣列有效

專利信息
申請號: 200880112163.1 申請日: 2008-09-27
公開(公告)號: CN101828096A 公開(公告)日: 2010-09-08
發明(設計)人: J·奧伯豪澤 申請(專利權)人: 約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
主分類號: G01D5/347 分類號: G01D5/347
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 趙辛
地址: 德國特勞*** 國省代碼: 德國;DE
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 光學 位置 測量 裝置 檢測 元件 陣列
【權利要求書】:

1.一個用于光學的位置測量裝置的檢測元件陣列,通過它可以將在檢測平面中引起的條紋圖轉換成電的掃描信號,該檢測元件陣列由許多矩陣式地設置在行(Z)和列(S)中的光敏檢測元件(24,240)組成,

-其中對至少一部分檢測元件(24,240,340,440)附設開關(25.1,25.2,250.1,250.2,350.1,350.2,450.1,450.2),通過它們使每個檢測元件(24,240,340,440)有選擇地與一個或多個相鄰的檢測元件(24,240,340,440)連接和

-其中對具有附屬開關的檢測元件(24,240,340,440)附設至少一個存儲元件(26,260,360,460),在其中可以寄存信息,它們給出,通過開關(25.1,25.2,250.1,250.2,350.1,350.2,450.1,450.2)一個確定的檢測元件(24,240,340,440)在調整的掃描配置中與哪些相鄰的檢測元件(24,240,340,440)連接,其特征在于,對配有附屬開關(25.1,25.2,250.1,250.2,350.1,350.2,450.1,450.2)的檢測元件(24,240,340,440)分別附屬不多于兩個的開關(25.1,25.2,250.1,250.2,350.1,350.2,450.1,450.2),通過它們有選擇地建立

-與在相同列(S)中的相鄰檢測元件(24,240,340,440)的直接連接和/或

-與在相鄰行(Z)的相鄰列(S)中的傾斜相鄰的檢測元件(24,240,340,440)的直接連接。

2.如權利要求1所述的檢測元件陣列,其特征在于,側面與檢測元件陣列(23,230)相鄰地設置多個連接導線(30.1-30.5),通過它們分別連接通過開關(25.1,25.2,250.1,250.2,350.1,350.2,450.1,450.2)連接的檢測元件(24,240,340,440)的組。

3.如權利要求1所述的檢測元件陣列,其特征在于,一組的檢測元件(24,240,340,440)由條紋圖的掃描分別產生同相的掃描信號。

4.如權利要求2或3所述的檢測元件陣列,其特征在于,在連接導線(30.1-30.5)與檢測元件陣列(23,230)之間設置信道多路復用器(29),通過它使具有同相掃描信號的組的連接的檢測元件(24,240,340,440)分別可以接入到相同的連接導線(30.1-30.5)上。

5.如權利要求4所述的檢測元件陣列,其特征在于,所述檢測元件(24,240,340,440)這樣接通,在四個連接導線(30.1-30.4)上施加四個以90度錯相的掃描信號或者在三個連接導線上施加三個以120度錯相的掃描信號。

6.如權利要求1所述的檢測元件陣列,其特征在于,每個存儲元件(26,260,360,460)與兩個開關(25.1,25.2,250.1,250.2,350.1,350.2,450.1,450.2)分別通過控制導線(27.1,27.2,370,470)連接。

7.如權利要求6所述的檢測元件陣列,其特征在于,每個存儲元件(26,260)具有顛倒的和非顛倒的輸出并且每個輸出與控制導線(27.1,27.2)連接。

8.如權利要求1所述的檢測元件陣列,其特征在于,在檢測元件(24,240)的列(S)與行(Z)之間設置程序導線(28.1,28.2)并且為了控制存儲元件(26,260,360,460)與它們連接,用于由此有選擇地操縱開關(25.1,25.2,250.1,250.2,350.1,350.2,450.1,450.2)。

9.如權利要求1所述的檢測元件陣列,其特征在于,為了掃描由平行條紋組成的周期的條紋圖分別只使在一列(S)中的檢測元件(24,240)相互連接。

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