[發明專利]用于固態材料的真空蒸發設備無效
| 申請號： | 200880023385.6 | 申請日： | 2008-07-11 |
| 公開（公告）號： | CN101688290A | 公開（公告）日： | 2010-03-31 |
| 發明（設計）人： | 邁克爾·斯沙斐爾;博爾德·邁耶爾 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 趙 飛;南 霆 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 固態 材料 真空 蒸發 設備 | ||
1.一種真空蒸發設備(1)，其用于固態材料，所述設備包括用來蒸發至少一種材料的坩堝(50)并且包括用于將至少一種蒸發的材料散布到襯底(2)上的散布系統(39)，所述設備(1)包括在熔點之上冷卻所述至少一種材料的至少一個機構(46，52，51)，其特征在于
所述裝料裝置(9)設置在所述設備(1)內，使得可以向所述坩堝(43)提供所述至少一種固態材料。
2.根據權利要求1所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述設備(1)包括用來熔化所述至少一種材料的第一坩堝(43)和用來蒸發所述至少一種材料的第二坩堝(50)。
3.根據權利要求2所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述第一坩堝(43)經由輸送裝置(49)與所述第二坩堝(50)相連接。
4.根據權利要求1或2所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述第一坩堝(43)設置到用于冷卻所述至少一種材料的所述至少一個機構(46)上。
5.根據權利要求1或2所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述第二坩堝(50)設置到用于冷卻所述至少一種材料的所述至少一個機構(51)上。
6.根據權利要求1到3中任意一項所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述輸送裝置(49)設置到用于冷卻所述至少一種材料的所述至少一個機構(52)上。
7.根據權利要求1所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，輸送系統(41，42)設置在所述坩堝(43)與所述裝料裝置(9)之間。
8.根據權利要求7所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述輸送系統(41，42)包括饋送器(48)。
9.根據權利要求1所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述裝料裝置(9)包括裝料閥(14)。
10.根據權利要求2所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述坩堝(50)包括加熱器。
11.根據權利要求2所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述坩堝(43)包括加熱器。
12.根據權利要求3所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述輸送裝置(49)包括加熱器。
13.根據權利要求1所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述用于冷卻所述至少一種材料的所述機構(51，52)包括至少一個管道(57，58，59，60)。
14.根據權利要求13所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述用于冷卻所述至少一種材料的所述機構(51，52)是管道系統。
15.根據權利要求8或9所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述饋送器(48)和所述閥(14)構造了用于將所述坩堝(43，50)中的填充幅度的變化保持到最小的控制系統。
16.根據權利要求10、11或12所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述加熱器是電阻加熱器。
17.根據權利要求11所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述加熱器是電感器。
18.根據權利要求11所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述坩堝(43)是由導熱油加熱的。
19.根據權利要求1所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，所述至少一種材料是硒。
20.根據權利要求1所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，用于冷卻所述至少一種材料的所述至少一個機構(46，52，51)也同樣用于加熱所述至少一種材料。
21.根據權利要求1所述的真空蒸發設備(1)，其特征在于，用于冷卻的所述機構(46，52，51)是快速關閉裝置。
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