[實用新型]一種氣浮式反應腔

有效

• 申請號: 200820212007.X
• 申請日: 2008-09-24
• 公開（公告）號: CN201236208Y
• 公開（公告）日: 2009-05-13
• 發明（設計）人: 林琳
• 申請（專利權）人: 清溢精密光電(深圳)有限公司
• 主分類號: C23C16/48
• 分類號: C23C16/48;B01J19/12
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所
• 代理人: 張全文

技術領域

本實用新型屬于用于化學反應的密閉空腔裝置技術領域，尤其涉及一種氣浮式反應腔。

背景技術

在半導體器件、液晶、等離子、有機EL等顯示器件、光掩膜制造等精密的激光微細加工領域(微米、亞微米、深亞微米級)，在生產時，半成品往往帶有一些各種形式的缺陷，這些缺陷需要進行修補處理后才能變成合格的產品。修補技術有：聚焦離子束(FIB)修補、點膠(Dispensing)修補、激光化學氣相沉積(Laser?Chemical?Vapor?Deposition，LCVD)修補等。其中，激光化學氣相沉積修補成本適中而且效果也滿足使用要求。現有技術中的激光化學氣相沉積工藝需要使用一個相對密閉的反應腔，以容納生產工件(如顯示器件、光掩膜)，并使得反應在一定的化學氣體濃度和壓力下得以進行，同時反應腔必需留有透光但不透氣的窗口(如玻璃窗)以通激光。當加工工件(即修補對象)的面積或體積較大時，采用現有技術的反應腔有以下技術問題：

1、工件體積或面積增大，常規反應腔的體積也必須相應加大，反應腔制造時耗材較多，成本上升。

2、工件體積或面積增大，反應腔的透光窗口也必須相應加大，反應腔制造難度加大，成本上升。

3、由于1、2兩點原因，大的反應腔要實現承受一定的反應腔氣壓和自身材料的重量，必需加強各部件的結構強度，否則就會變形，影響光學精度；但透光的窗口片材料卻不能隨意加厚，因為隨意加厚會影響激光束聚焦的光學分辨率。

4、透光的窗口片由于激光的高能照射，會影響其透光程度，每隔一段時間就必需更換，這樣的大尺寸的窗口片的消耗成本較高，而且更換不便，極易破碎。

5、工件在全密閉式反應腔的裝卸非常繁瑣和費時，并且不易調整位置，無法靈活應對不同大小的工件。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種氣浮式反應腔，旨在解決現有技術中需要增大反應腔的體積才能容納大尺寸工件的問題。

本實用新型是這樣實現的，一種氣浮式反應腔，包括一安裝基座，所述安裝基座上開設有倒錐形凹槽，所述倒錐形凹槽在安裝基座下表面形成一反應源氣環形集中噴覆口，其特征在于：所述安裝基座上還開設有預壓真空抽氣口、靜壓空氣軸承進氣口，所述安裝基座下表面對應開設有與所述預壓真空抽氣口貫通的預壓真空節流口和與所述靜壓空氣軸承進氣口貫通的靜壓空氣軸承節流噴嘴。

與現有技術中的反應腔相比，本實用新型不需要增大反應腔的體積就可以容納大尺寸工件，降低了成本。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例提供的一種氣浮式反應腔示意圖。

圖中：

1-安裝基座；

1a-靜壓空氣軸承進氣口；??1b-預壓真空抽氣口；????1c-反應源氣進氣口；

1d-窗口片保護氣進氣口；??1e-窗口片保護氣抽氣口；1f-反應廢氣抽氣口；

1g-靜壓空氣軸承節流噴嘴；1h-預壓真空節流口；????1i-反應廢氣收集口；

1j-反應源氣環形集中噴覆口；

2-薄膜加熱片；

3-反應氣體噴覆分配環；

4-透明材料窗口片；

5-透鏡組；

6-激光束；

7-窗口片墊圈；

8-光掩膜工件；???????????????8a-光掩膜待加工表面。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。