[實用新型]一種能快速降溫的擴散爐無效
| 申請號: | 200820159573.9 | 申請日: | 2008-12-05 |
| 公開(公告)號: | CN201303001Y | 公開(公告)日: | 2009-09-02 |
| 發明(設計)人: | 張恩理;婁志林;謝劍剛 | 申請(專利權)人: | 湖南天利恩澤太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 411102湖南省湘*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 快速 降溫 擴散 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種能快速降溫的擴散爐。
背景技術
目前,太陽能電池片形成PN結的過程中,因為工藝需要快速升溫和降溫,為保證升溫速率和能源效率,保溫層越厚越好,但使用太厚的保溫層,又無法做到爐膛需快速降溫。如果在爐膛內用風冷降溫,又會使局部溫度不均勻,給產品帶來不良的工藝后果。現在生產的擴散爐保溫厚度由原來的110mm減少到70mm,犧牲了一些保溫性能,但最快下降溫度還只能達到5℃/min,還是滿足不了更高的工藝要求,如果再減少保溫層厚度又會帶來嚴重的能源浪費和溫度不穩定。
發明內容
本實用新型的目的是提供一種能快速降溫的擴散爐。
本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:為滿足擴散過程中的工藝要求,爐膛為雙層保溫結構,爐膛中間上部設有進冷卻氣管和電磁氣閥,爐瞠兩端下部設有出氣口,需要快速降溫時,打開進氣電磁閥吹入壓縮空氣,為保證冷卻均勻經過環型分氣管吹入,環形分氣管環繞內保溫層中部,在環型分配管的兩側面加工很多小孔,冷卻空氣通過小孔吹入保溫夾層,使內爐膛快速降溫,當需要保溫時關閉電磁氣閥,由于進出氣口較小并朝下夾層內的空氣無法流動所以具有良好的保溫效果,同時起到很好的節能和溫度穩定作用。
本實用新型的有益效果是,由于有夾層,使本實用新型溫度降低速度加快,而且溫度穩定,實現在太陽能電池片生產過程中的快速降溫。
附圖說明
圖1是本實用新型示意圖。
圖2是環形分氣管示意圖。
1.進冷卻氣管,2.爐膛外殼,3.外保溫層,4.保溫夾層,5.內保溫層,6.爐膛端板,7.出氣口,8.環形分氣管,9.孔。
具體實施方式
由圖1、圖2可知,本實用新型為滿足擴散過程中的工藝要求,爐膛外殼(2)內的爐膛有雙層保溫夾層(4),由外保溫層(3)和內保溫層(5)、爐膛端板(6)形成,爐膛中間上部設有進冷卻氣管(1)和電磁氣閥,爐瞠兩端下部設有出氣口(7),需要快速降溫時,打開進氣電磁閥吹入壓縮空氣,為保證冷卻均勻經過環型分配管吹入。在一個環型分氣管(8)的兩側面加工很多孔(9),環形分氣管(8)環繞內保溫層(5)中部,冷卻空氣通過孔(9)吹入保溫夾層,使內爐膛快速降溫,當需要保溫時關閉電磁氣閥,由于進、出氣口較小并朝下夾層內的空氣無法流動所以具有良好的保溫效果,同時起到很好的節能和溫度穩定作用。
爐膛的內保溫層為20-60mm,空氣夾層為5-100mm,外保溫層為20-160mm保溫材質為硅酸鋁纖維或常用保溫材料,環形分氣管為耐熱不銹鋼或銅或鋁或鐵管作,用這種方法可以使降溫速度達到10-20℃/min。
如爐膛內保溫層為60mm,空氣夾層為20mm外保溫層70mm,環形分氣管為Φ20x2mm的不銹鋼管彎制而成兩側均Φ4mm的小孔12個,內外保溫層兩端用同樣的保溫材料固定支撐,其它的溫度控制與常規擴散爐一樣,改造后的爐膛在生產中最大降溫速度可達到15℃/min。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





