[實(shí)用新型]一種提高安全性的石墨盤(pán)抓手

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820154598.X
• 申請(qǐng)日: 2008-10-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201288216Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-08-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李淼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海藍(lán)光科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/00
• 分類號(hào): C23C16/00
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所
• 代理人: 余明偉

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及利用金屬有機(jī)化學(xué)汽相淀積(MOCVD)技術(shù)生長(zhǎng)外延片技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指應(yīng)用于高頻加熱技術(shù)時(shí)常用的一種提高安全性的石墨盤(pán)抓手。

背景技術(shù)

金屬有機(jī)化學(xué)汽相淀積(MOCVD)系統(tǒng)是一種能夠制備納米量級(jí)超薄層材料的研究和生產(chǎn)設(shè)備，被廣泛用于納米半導(dǎo)體材料及器件的研究和開(kāi)發(fā)工作，在MOCVD設(shè)備上進(jìn)行材料生長(zhǎng)需要快速的升降溫工藝，常用中高頻感應(yīng)加熱和電阻絲加熱兩種。用中高頻加熱時(shí)常使用石墨盤(pán)做加熱主體，石墨盤(pán)是一種潔凈的加熱方式。

由于傳統(tǒng)的石墨盤(pán)抓手利用的是杠桿原理：在抓手一端1’固定時(shí)，另一端2’整體圍繞O點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)，導(dǎo)致推手11’及21’端開(kāi)口度過(guò)小時(shí)操作不靈活，開(kāi)口度過(guò)大時(shí)則容易碰到MOCVD石英件的側(cè)壁而造成昂貴石英件的損壞；其次由于其分離的兩個(gè)部分間的連接部分較少(只有O點(diǎn))，因此整個(gè)結(jié)構(gòu)不夠緊湊，容易脫落松動(dòng)而造成安全事故。

因此，設(shè)計(jì)一種活動(dòng)靈活并且能夠方便安全操作的專用抓手便顯的尤其重要。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供用于MOCVD技術(shù)領(lǐng)域的一種安全靈活且能準(zhǔn)確定位的石墨盤(pán)專用抓手。

為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：一種提高安全性的石墨盤(pán)抓手，該石墨盤(pán)抓手包括第一懸臂及與第一懸臂連接的第二懸臂，所述第一懸臂包括第一橫梁與第一橫梁通過(guò)螺紋連接的推手，所述第二懸臂包括第二橫梁及與所述第二橫梁匹配的定標(biāo)模塊和自鎖模塊，其特征在于：所述第二橫梁為中空鋼管，其一側(cè)開(kāi)設(shè)有窗口，用于和第一橫梁連接并控制第一橫梁中推手的移動(dòng)距離。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案之一，所述窗口上方有刻度標(biāo)注，便于決定在具體的場(chǎng)合下石墨盤(pán)抓手打開(kāi)的距離。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案之一，所述石墨盤(pán)抓手進(jìn)一步包括與第二懸臂橫梁通過(guò)螺釘固定的自鎖裝置。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案之一，所述自鎖裝置由不銹鋼管制成。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案之一，所述不銹鋼管內(nèi)徑大于或等于第二懸臂上的第二橫梁外徑，所述不銹鋼管上有螺紋孔并通過(guò)螺釘與第二橫梁連接固定。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案之一，所述石墨盤(pán)抓手包括定標(biāo)模塊，該模塊由內(nèi)徑大于或等于第二橫梁外徑的不銹鋼管制成，其上有螺紋孔并通過(guò)螺釘與第二橫梁連接固定以確定推手的最大活動(dòng)距離進(jìn)而精確控制抓手的開(kāi)口度。

本實(shí)用新型涉及一種活動(dòng)靈活并且能夠方便準(zhǔn)確安全操作的石墨盤(pán)抓手，增加了石墨盤(pán)操作的安全性。

附圖說(shuō)明

圖1是現(xiàn)有石墨盤(pán)抓手結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型石墨盤(pán)抓手結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型石墨盤(pán)抓手結(jié)構(gòu)分解圖。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型涉及一種提高安全性的石墨盤(pán)抓手，請(qǐng)參照?qǐng)D2至圖3所示，該石墨盤(pán)抓手包括第一懸臂1及與第一懸臂1連接的第二懸臂2，所述第一懸臂1包括第一橫梁11與第一橫梁11通過(guò)螺紋連接的第一推手12，所述第二懸臂2包括中空的第二橫梁21及與所述第二橫梁21通過(guò)螺紋連接的第二推手22，所述石墨盤(pán)抓手設(shè)有套設(shè)于第二橫梁21上的定標(biāo)模塊3和自鎖模塊4，所述第二橫梁21上開(kāi)有窗口23，該窗口23一側(cè)設(shè)有刻度盤(pán)24，便于決定在具體的場(chǎng)合下石磨盤(pán)抓手打開(kāi)的距離。所述定位模塊3用于和第二橫梁21連接并控制第一橫梁11的第一推手12的移動(dòng)距離。

所述窗口23上方有刻度盤(pán)24，便于決定在具體的場(chǎng)合下石墨盤(pán)抓手打開(kāi)及閉合時(shí)的準(zhǔn)確位置。第一懸臂1與第二懸臂2組合后最大的開(kāi)口不大于整個(gè)活動(dòng)區(qū)域的范圍，防止造成周邊器件的損傷，同時(shí)其最小開(kāi)口等于要抓取石墨盤(pán)的外圍直徑并通過(guò)自鎖模塊4鎖定在具體的位置，增加了操作的安全性。

所述自鎖裝置4通過(guò)螺釘42和第一套筒41與第二橫梁21固定。所述定標(biāo)模塊3通過(guò)螺釘32和第二套筒31裝設(shè)于第二橫梁21上。

所述第一橫梁11遠(yuǎn)離第一推手12的一端設(shè)有凹槽110，所述第一套筒41一端設(shè)有與所述凹槽110配和的卡槽43。使用時(shí)，螺釘33插裝于所述凹槽110內(nèi)，卡槽43卡合與所述螺釘33上。

此抓手由第一懸臂1和第二懸臂2兩個(gè)分立部件組成，第一懸臂1和第二懸臂2的接觸部分較長(zhǎng)，這樣整體結(jié)構(gòu)比較緊湊且能夠承受更大的重量從而增加了操作安全性。

第一懸臂1有獨(dú)立的結(jié)構(gòu)和一個(gè)可以拆卸的第一推手11組成，推手可以和整個(gè)第一懸臂1通過(guò)螺紋連接。

第二懸臂2包含一邊開(kāi)有窗口23的第二橫梁21，用于和第一懸臂1的連接和控制第一懸臂1中第一推手12的移動(dòng)距離。