[實用新型]樹脂更換裝置有效
| 申請號： | 200820154500.0 | 申請日： | 2008-10-27 |
| 公開（公告）號： | CN201296686Y | 公開（公告）日： | 2009-08-26 |
| 發明（設計）人： | 王世明 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C02F1/42 | 分類號： | C02F1/42 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 樹脂 更換 裝置 | ||
【權利要求書】：
1、一種樹脂更換裝置，用以將樹脂儲存裝置中的樹脂裝入離子交換樹脂設備，其特征在于，該裝置包括：射流器、至少三個連接至射流器的導管、樹脂存儲裝置及提供樹脂引入媒介的媒介儲存裝置；其中
射流器基于至少兩根導管分別連接至樹脂儲存裝置及提供樹脂引入媒介的媒介儲存裝置；以及射流器還連接有至少一根導管，用以從該導管輸出樹脂。
2、如權利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括第一閥門；射流器通過導管連接至媒介儲存裝置的具體連接結構是：射流器通過導管連接至第一閥門，第一閥門通過導管連接至媒介儲存裝置。
3、如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，還包括第二閥門；射流器用以輸出樹脂的導管連接該第二閥門的輸入端，第二閥門的輸出端連接有導管。
4、如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述樹脂引入媒介為液態水。
5、如權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述樹脂存儲裝置為樹脂桶。
6、如權利要求1或2所述的裝置，所述離子交換樹脂設備為離子交換樹脂床。
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