[實用新型]液體排放裝置

有效

• 申請號: 200820154497.2
• 申請日: 2008-10-27
• 公開（公告）號: CN201297498Y
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發明（設計）人: 安云富;劉偉
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: F17D1/18
• 分類號: F17D1/18;F17D3/01
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種排放裝置，且特別涉及一種液體排放裝置。

背景技術

目前，電子工業已經成為世界上規模最大的工業，其全球市場份額已經超過了10000億美元。電子器件是電子工業的基礎，為滿足電子工業的巨大需求，該領域的發展十分迅速。隨著微電子技術的發展，半導體器件的特征尺寸已進入超深亞微米，在原理、結構和制造工藝方面有許多重大突破，同時出現了許多新型半導體器件。隨著半導體工藝的需求，一些易于結晶的化學品被用到生產工藝的機臺中，這樣我們就會面臨這些化學品的排放問題，通常廠家常用的方法就是將這些易于結晶的化學品通過排放管道直接排放，這就引出了一些新的問題。一般排放回收系統離生產工廠比較遠，這些易于結晶的化學品在溫度降低到一定的程度時便會結晶，容易堵塞排放管道，而一旦堵塞，技術人員很難查到具體的堵塞位置，而且，要堵塞往往是多處堵塞，給導通工作帶來了難度，排放管道不及時導通，會直接影響到工廠的運行。

一些廠家和個人針對這個問題，采取了一些措施，比如將排放管道加厚處理，或者在排放管道外面加涂防凍層，這些方法不但大大的提高了成本，而且收效甚微。

實用新型內容

為了克服已有技術中存在的易結晶化學品容易在管道中結晶，并因此堵塞管道的問題，本實用新型提供一種具有能保持易結晶化學品在管道內不結晶堵塞管道的液體排放裝置。

為了實現上述目的，本實用新型提出一種液體排放裝置，包括存儲容器，回收容器以及連接所述存儲容器和所述回收容器的排放管道，所述排放管道為雙套管結構，所述排放管道夾層兩端分別與一熱水供應系統和一熱水回收系統相連。

可選的，所述排放管道外管直徑和內管直徑比不小于3:2。

可選的，所述存儲容器和回收容器通過所述排放管道的內管相連。

可選的，所述熱水供應系統通過第一導管和所述排放管道夾層相連。

可選的，所述存儲容器和所述熱水供應系統位于所述排放管道的同一端。

可選的，所述回收容器和所述熱水回收系統位于所述排放管道的同一端。

可選的，所述熱水回收系統包括一熱水回收箱以及連接所述熱水回收箱和所述排放管道夾層的第二導管。

可選的，所述熱水供應系統和一溫度測量計相連。

本實用新型所述的液體排放管道的有益效果主要表現在：和熱水供應系統相連的溫度測量計可以顯示熱水溫度，便于根據化學品的結晶點來調節熱水溫度；排放管道為雙套管結構，且在夾層中輸入熱水，以保持管內的溫度在化學品的結晶點之上，該裝置能夠保證化學品沿排放管道順暢排放，減少了堵塞的情況發生。

附圖說明

圖1為本實用新型液體轉移裝置實施例的結構示意圖；

圖2為本實用新型液體轉移裝置實施例的排放管道的截面示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對實用新型作進一步的描述。

請參考圖1，圖1是所述的一種液體排放裝置，主要用于易結晶的化學品的排放，包括存儲容器110、回收容器114以及連接所述存儲容器和回收容器的排放管道，存儲容器110用于收集和放置易結晶的化學品，可固定于工廠的某個生產車間，回收容器114放置于化學品的回收車間，所述排放管道為雙套管結構，所述排放管道的夾層112兩端分別與一熱水供應系統111和一熱水回收系統相連，熱水供應系統111和排放管道夾層112之間通過第一導管118相連，熱水回收系統包括熱水回收箱117以及連接熱水回收箱117和排放管道夾層112的第二導管115，所述存儲容器110和所述熱水供應系統111位于所述排放管道的同一側，而所述回收容器110和所述熱水回收系統則位于所述排放管道的另一側，這樣能夠保證存儲容器110中的易結晶的化學品進入排放管道時，對應的排放管道的夾層112就有熱水供應，維持化學品的溫度在其結晶點之上。熱水供應系統111與一溫度測量計116相連，熱水供應系統111負責給水加熱，溫度測量計116測試并顯示加熱的溫度，根據易結晶的化學品的結晶點的高低，來決定所加熱的水的溫度，一般加熱的水的溫度要高于化學品的結晶點5攝氏度，才能保證易結晶的化學品在排放管道中順暢傳輸，另外，排放管道外管119直徑和內管113直徑的比例不能小于3:2，否則也不能保證化學品在傳輸的過程中不結晶，外管119直徑和內管113直徑的差距越大，就意味著排放管道夾層112的空間的增大，即其中所能容納的熱水量的增大，有利于維持管道中化學品的溫度在熱水的溫度附近。