[實用新型]沉積室遮擋裝置及相應的沉積室壁有效
| 申請號： | 200820152786.9 | 申請日： | 2008-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN201250282Y | 公開（公告）日： | 2009-06-03 |
| 發明（設計）人： | 張林;顧琛 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 沉積 遮擋 裝置 相應 | ||
【權利要求書】：
1.一種沉積室遮擋裝置，其特征是，包括：
第一環狀部與第二環狀部，其中所述第一環狀部的外徑大于第二環狀部的外徑。
2.根據權利要求1所述的沉積室遮擋裝置，其特征是，其中所述第一環狀部的內徑等于第二環狀部的內徑。
3.根據權利要求1所述的沉積室遮擋裝置，其特征是，其中所述第一環狀部與第二環狀部為一體成型。
4.一種沉積室壁，其特征是，包括：
固定壁，包括：
第一環狀部與第二環狀部，且第一環狀部的內徑大于第二環狀部的內徑；
遮擋壁，包括：
第三環狀部與第四環狀部，且第三環狀部的外徑大于第四環狀部的外徑；
其中遮擋壁的第四環狀部嵌入固定壁的第二環狀部所確定的反應空間內。
5.根據權利要求4所述的沉積室壁，其特征是，其中，
所述第三環狀部的外表面與第一環狀部的內表面相貼合；且
所述第四環狀部的外表面與第二環狀部的內表面相貼合。
6.根據權利要求4所述的沉積室壁，其特征是，其中所述第一環狀部與第二環狀部的內徑之差等于第三環狀部與第四環狀部的外徑之差。
7.根據權利要求4所述的沉積室壁，其特征是，其中所述第三環狀部的內徑等于第四環狀部的內徑。
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