[實用新型]濺鍍機真空腔抽真空裝置無效
| 申請號： | 200820139273.4 | 申請日： | 2008-10-14 |
| 公開（公告）號： | CN201209163Y | 公開（公告）日： | 2009-03-18 |
| 發明（設計）人： | 郭曉明 | 申請（專利權）人： | 廣東中唱一帆科技發展有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 汕頭市潮睿專利事務有限公司 | 代理人： | 丁德軒 |
| 地址： | 515100廣東省汕*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺鍍機真 空腔 真空 裝置 | ||
【權利要求書】：
1、一種濺鍍機真空腔抽真空裝置，包括真空腔、高速分子泵、油式真空泵，其特征在于：還包括電磁閥，所述真空腔的出口連接高速分子泵，高速分子泵的出口通過導管連接油式真空泵，導管中部連接電磁閥。
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