[實用新型]基板載臺

有效

• 申請號: 200820135798.0
• 申請日: 2008-10-10
• 公開（公告）號: CN201274285Y
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: 陳儀龍;簡青俊;李智強
• 申請（專利權）人: 華映視訊(吳江)有限公司;中華映管股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/683;H01L21/677;G02F1/1333
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 孫長龍

1.一種基板載臺，用以承載一基板，其特征在于，包括：

一固定機座；以及

一承載臺，設置于該固定機座上方，具有復數個間隔組件可供該基板放置于其上，并使得該基板與該承載臺之間具有一間隙。

2.如權利要求1所述的基板載臺，其特征在于，該間隔組件為墊片。

3.如權利要求2所述的基板載臺，其特征在于，該復數個墊片總占面積介于該承載臺面積的1-5％。

4.如權利要求2所述的基板載臺，其特征在于，該間隔組件為止滑墊。

5.如權利要求1所述的基板載臺，其特征在于，還包含一與該承載臺相結合的傳動機構，該傳動機構連接于該固定機座，并帶動該基板相對于該固定機座移動。

6.如權利要求5所述的基板載臺，其特征在于，該傳動機構包含一撓性線槽以及一滑軌，該撓性線槽兩端分別連接于該承載座與該滑軌，且該滑軌與該固定機座連接。

7.如權利要求1所述的基板載臺，其特征在于，該承載臺還包含有至少一開孔。

8.如權利要求7所述的基板載臺，其特征在于，該機座還包含一舉升裝置，設置于該承載臺下方，通過該開孔抵住該基板并帶動其升降。

9.如權利要求1所述的基板載臺，其特征在于，該抗靜電載臺配設一移載臂，透過該基板與該承載臺之間的間隙，取放該基板。

10.如權利要求9所述的基板載臺，其特征在于，該移載臂還包含有至少一孔洞，透過該孔洞抽真空而吸附該基板。

11、如權利要求1所述的基板載臺，其特征在于，基板為一薄膜晶體管液晶顯示器、一超扭轉向列液晶顯示器、等離子體顯示器、有機發光二極管顯示器或多晶硅顯示器的面板。