[實(shí)用新型]一種定點(diǎn)鎖固式內(nèi)傳輸框架結(jié)構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820129482.0
• 申請日: 2008-08-18
• 公開（公告）號(hào): CN201272829Y
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黎瑞海
• 申請（專利權(quán)）人: 凌嘉科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 許 靜

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種框架組裝時(shí)鎖固的結(jié)構(gòu)，特別指一種應(yīng)用于真空濺鍍的框架在組裝時(shí)，簡化鎖固設(shè)計(jì)而更能適用于作業(yè)環(huán)境的鎖固結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當(dāng)廣泛的一項(xiàng)重要技術(shù)，近年來己逐漸取代噴導(dǎo)電漆或電解電鍍等方式，大量應(yīng)用在光電、通信及半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)，成為相當(dāng)重要的表面處理技術(shù)。

請參閱圖1所示，一般真空濺鍍技術(shù)利用磁控濺鍍陰極板11，將離子化的氣體分子13以高速轟擊激發(fā)鍍材18，使鍍膜分子12均勻散布在真空腔體10內(nèi)各個(gè)角落，再通過電位差高速濺射在被鍍物19表面上，進(jìn)而達(dá)到鍍膜的目的。

而因應(yīng)真空濺鍍制程應(yīng)用層面日廣，為增加相關(guān)鍍膜產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)競爭力，目前大部分濺鍍設(shè)備為連續(xù)式多腔體型式，以取代傳統(tǒng)批次式或晶圓式生產(chǎn)方式。如圖2所示，連續(xù)式傳輸作業(yè)流程如可概分為進(jìn)料區(qū)、濺鍍區(qū)及出料區(qū)三個(gè)區(qū)域。每一個(gè)區(qū)域都至少由一真空腔體10組成，再利用傳輸機(jī)構(gòu)將被鍍物19輸送至不同區(qū)域的真空腔體10內(nèi)進(jìn)行各項(xiàng)程序作業(yè)。而一般連續(xù)式真空濺鍍設(shè)備其自動(dòng)化傳輸機(jī)構(gòu)皆利用極限開關(guān)及摩擦原理來完成不同腔體之間傳輸順序。

請?jiān)賲㈤唸D3、圖4，每個(gè)腔體內(nèi)設(shè)置有由兩個(gè)輪軸固定座15及若干輪軸14等構(gòu)件組成的框架，以及由伺服馬達(dá)13及若干鏈條17組成的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。其中兩國輪軸固定座15利用若干螺絲鎖固于該中空腔體10底部，而輪軸14則等間隔樞組于兩個(gè)輪軸固定座15之間，并于各輪軸14上套設(shè)兩個(gè)膠環(huán)16。輸送傳動(dòng)時(shí)，伺服馬達(dá)13帶動(dòng)位于框架前端的第一個(gè)輪軸14轉(zhuǎn)動(dòng)后，再通過該鏈條17帶動(dòng)后半部的輪軸14轉(zhuǎn)動(dòng)。而用以承載被鍍物19的托盤12置于輪軸14兩側(cè)的膠環(huán)16上方，通過該托盤12與膠環(huán)16之間摩擦力的作用下，將托盤12帶動(dòng)至下一個(gè)真空腔體10，而能連續(xù)進(jìn)行真空濺鍍的各項(xiàng)作業(yè)程序。

因此，真空濺鍍作業(yè)在進(jìn)行時(shí)，必須將該真空腔體10內(nèi)的空氣抽出，使其呈現(xiàn)真空狀態(tài)，然而上述現(xiàn)有結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中，因?yàn)閮蓚€(gè)輪軸固定座15用以將其鎖固于真空腔體10的螺絲，等間隔布滿于各該輪軸固定座15上，因此不僅容易在抽真空時(shí)對框架結(jié)構(gòu)造成不良影響，更增加了零件成本、鎖固作業(yè)，以及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上的負(fù)擔(dān)。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了減少真空濺鍍作業(yè)對框架結(jié)構(gòu)造成的不良影響，本實(shí)用新型提供了一種定點(diǎn)鎖固式內(nèi)傳輸框架結(jié)構(gòu)，包含一真空濺鍍用的腔體，以及鎖固組設(shè)于所述腔體內(nèi)的框架，

所述框架鎖固于腔體內(nèi)，鎖固位置限于框緣的四角隅處，即所述腔體內(nèi)底部四角落適當(dāng)處各凸設(shè)一鎖置座，而所述框架對應(yīng)所述四個(gè)鎖置座的位置，則分別貫穿形成一第一鎖孔，若干定位調(diào)整單元一端分別穿設(shè)所述第一鎖孔鎖固于鎖置座處。

所述各定位調(diào)整單元由一調(diào)整螺絲、螺帽及定位螺絲組成，所述調(diào)整螺絲內(nèi)緣呈貫通結(jié)構(gòu)，上端形成有六角孔，螺組于該框架第一鎖孔處，所述螺帽螺設(shè)于作完框架的水平調(diào)整后的所述調(diào)整螺絲上，而所述定位螺絲由所述螺帽鎖固后的所述調(diào)整螺絲內(nèi)緣往外穿出而螺組于所述腔體的鎖置座內(nèi)。

所述框架兩側(cè)底部前后的第一鎖孔間，等間隔形成有若干第二鎖孔，各第二鎖孔處分別螺設(shè)一由用作水平調(diào)整的調(diào)整螺絲及鎖緊固定水平高的螺帽組成的水平調(diào)整單元。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

利用本實(shí)用新型的，限定該框架鎖固于腔體內(nèi)的位置與鎖固數(shù)之結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，將框架鎖固于腔體內(nèi)時(shí)，不僅能節(jié)省框架拆卸或組裝的時(shí)間與程序，節(jié)省鎖固作業(yè)的時(shí)間，也能使其結(jié)構(gòu)更適應(yīng)于真空作業(yè)環(huán)境。

附圖說明

圖1為真空濺鍍原理示意圖。

圖2為現(xiàn)有連續(xù)式濺渡作業(yè)流程示意圖。

圖3為現(xiàn)有真空腔體立體分解圖。

圖4為現(xiàn)有框架鎖固于真空腔體的組合剖面圖。

圖5為本實(shí)用新型的立體組合圖。

圖6為本實(shí)用新型的立體分解圖。

圖7為本實(shí)用新型的組合剖面圖。

其中，

腔體20??????????鎖置座21

框架30??????????容置槽31

第一鎖孔32???????第二鎖孔33

定位調(diào)整單元40??調(diào)整螺絲41

六角孔411???????螺帽42

定位螺絲43??????水平調(diào)整單元50

調(diào)整螺絲51

六角孔511???????螺帽52

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)說明。